[实用新型]阵列式超声波感测器

权利要求书

1.一种阵列式超声波感测器，其特征在于，包括：

半导体基板；

第一感测阵列，设置于所述半导体基板上，包括两个或两个以上第一超声波感测单元，其中各所述第一超声波感测单元包括第一正电极及第一负电极，各所述第一超声波感测单元的各所述第一正电极彼此串接，各所述第一超声波感测单元的各所述第一负电极彼此串接；以及

第二感测阵列，设置于所述半导体基板上，包括两个或两个以上第二超声波感测单元，其中各所述第二超声波感测单元包括第二正电极及第二负电极，各所述第二超声波感测单元的各所述第二正电极彼此串接，各所述第二超声波感测单元的各所述第二负电极彼此串接；

其中所述第一感测阵列与所述第二感测阵列的其中一者用以发射超声波，而另一者用以接收反射的超声波。

2.如权利要求1所述的阵列式超声波感测器，其特征在于，其中所述第一感测阵列中的各所述第一超声波感测单元与所述第二感测阵列中的各所述第二超声波感测单元数量不同。

3.如权利要求2所述的阵列式超声波感测器，其特征在于，其中所述第一感测阵列中的各所述第一超声波感测单元排列成矩形，所述第二感测阵列被所述矩形所围绕。

4.如权利要求1所述的阵列式超声波感测器，其特征在于，其中各所述第一超声波感测单元与各所述第二超声波感测单元共同排列成单一阵列，各所述第一超声波感测单元及各所述第二超声波感测单元在同一横排及同一直列上交错排列。

5.如权利要求4所述的阵列式超声波感测器，其特征在于，其中各所述第一超声波感测单元与各所述第二超声波感测单元共同排列成矩阵，各所述第一超声波感测单元及各所述第二超声波感测单元是以相邻的斜线交互排列。

6.如权利要求1所述的阵列式超声波感测器，其特征在于，其中各所述第一超声波感测单元与各所述第二超声波感测单元共同排列成矩阵，其中各所述第一超声波感测单元与各所述第二超声波感测单元以横排或直列上交错排列。

7.如权利要求1所述的阵列式超声波感测器，其特征在于，其中所述第一感测阵列中的各所述第一超声波感测单元与所述第二感测阵列中的各所述第二超声波感测单元数量相同。

8.如权利要求7所述的阵列式超声波感测器，其特征在于，其中各所述第一超声波感测单元排列成第一矩阵、各所述第二超声波感测单元排列成第二矩阵，所述第一矩阵与所述第二矩阵相邻设置。

9.如权利要求1所述的阵列式超声波感测器，其特征在于，其中各所述第一正电极与各所述第二正电极为n型氮化铝(AIN⁺)所制成、各所述第一负电极与各所述第二负电极为p型氮化铝(AIN^-)制成。

10.如权利要求1所述的阵列式超声波感测器，其特征在于，其中各所述第一超声波感测单元及各所述第二超声波感测单元中的中空腔室高度范围是0.8至1.5mm。