[实用新型]阵列式超声波感测器

说明书

本申请实施例提供一种阵列式超声波感测器，包括半导体基板、第一感测阵列及第二感测阵列。第一感测阵列包括两个或两个以上第一超声波感测单元。各第一超声波感测单元包括第一正电极及第一负电极，第一超声波感测单元的第一正电极彼此串接、第一负电极彼此串接。第二感测阵列包括两个或两个以上第二超声波感测单元。各第二超声波感测单元包括第二正电极及第二负电极，第二超声波感测单元的第二正电极彼此串接、第二负电极彼此串接。第一感测阵列与第二感测阵列的其中一者用以发射超声波，而另一者用以接收反射的超声波。

技术领域

本申请涉及感测领域，尤其涉及一种阵列式超声波感测器。

背景技术

超声波感测器通常利用中空腔室的设计，通过传递的时间、相位，能有效地分辨发射出的超声波及反射的超声波。因此，广泛地应用在各种生理资讯的辨识上。

随着搭配使用的电子装置的轻薄化，超声波感测器轻薄化必须通过缩减中空腔体来达成。然而，随着腔体空间的缩减，可能导致超声波感测器的震动尚未停止就收到反射超声波，在判断上可能造成错误。虽然可以通过另外增加感测器的方式来完成，但仍然有反射角度过大、音压过小等问题，而影响到超声波感测器的灵敏度及感测效果。

实用新型内容

为了解决现有技术所面临的问题，本申请实施例提供一种阵列式超声波感测器。

阵列式超声波感测器包括半导体基板、第一感测阵列及第二感测阵列。第一感测阵列设置于半导体基板上，且包括两个或两个以上第一超声波感测单元。各第一超声波感测单元包括第一正电极及第一负电极，第一超声波感测单元的第一正电极彼此串接，且第一超声波感测单元的第一负电极彼此串接。第二感测阵列设置于半导体基板上，且包括两个或两个以上第二超声波感测单元。各第二超声波感测单元包括第二正电极及第二负电极，第二超声波感测单元的第二正电极彼此串接，第二超声波感测单元的第二负电极彼此串接。第一感测阵列与第二感测阵列的其中一者用以发射超声波，而另一者用以接收反射的超声波。

在一些实施例中，第一感测阵列中的第一超声波感测单元与第二感测阵列中的第二超声波感测单元数量不同。更详细地，在一些实施例中，第一感测阵列中的第一超声波感测单元排列成矩形，第二感测阵列被矩形所围绕。

在一些实施例中，第一超声波感测单元与第二超声波感测单元共同排列成一矩阵，第一超声波感测单元及第二超声波感测单元是以相邻的斜线交互排列。

在一些实施例中，第一超声波感测单元与第二超声波感测单元共同排列成矩阵，其中第一超声波感测单元与第二超声波感测单元在以横排或直列交错排列。

在一些实施例中，第一感测阵列中的第一超声波感测单元与第二感测阵列中的第二超声波感测单元数量相同。更详细地，在一些实施例中，第一超声波感测单元排列成第一矩阵、第二超声波感测单元排列成一第二矩阵，第一矩阵与第二矩阵相邻设置。

在一些实施例中，第一正电极与第二正电极为n型氮化铝(AlN⁺)所制成、第一负电极与第二负电极为p型氮化铝(AlN^-)制成。

在一些实施例中，第一超声波感测单元及第二超声波感测单元中的中空腔室高度范围是0.8至1.5mm。

上述实施例中，通过将两个或两个以上第一超声波感测单元串接成第一感测阵列、将两个或两个以上第二超声波感测单元串接成第二感测阵列，并分别发射及接收超声波，可以解决了现有技术上的各种问题，能配合更加轻薄化，并提升了音压，而提升了感测的灵敏性。

附图说明

图1是本申请中阵列式超声波感测器第一实施例的俯视图。

图2是本申请中阵列式超声波感测器第一实施例的局部剖视图。

图3是本申请中阵列式超声波感测器第二实施例的俯视图。