[实用新型]一种晶片腐蚀机

权利要求书

1.一种晶片腐蚀机，其特征在于，包括腐蚀机主体，所述腐蚀机主体为长方体状中空结构，所述腐蚀机主体的内部固定有腐蚀槽，所述腐蚀槽的底部竖直固定有升降组件，所述升降组件顶部连接有限位盘，所述腐蚀槽顶部开口位置位于限位盘的正上方，所述腐蚀槽内部两端还分别设置有搅拌辊；所述腐蚀槽两侧还分别设置有上料组件和清洗水槽，所述上料组件配置有多个腐蚀架，所述腐蚀架用于配置待腐蚀的晶片；所述腐蚀机主体的顶部固定有搬运组件，所述搬运组件包括轨道以及活动设置于轨道上的第一滑块和第二滑块，所述第一滑块和第二滑块上分别固定有第一夹爪和第二夹爪。

2.根据权利要求1所述的一种晶片腐蚀机，其特征在于，所述腐蚀槽的内壁呈椭圆形结构，所述搅拌辊位于该椭圆形结构的圆心位置。

3.根据权利要求1所述的一种晶片腐蚀机，其特征在于，所述升降组件为气缸或电动推杆，其活动端从腐蚀槽底部延伸至内侧并连接限位盘，所述活动端外侧包裹有可伸缩的防护套。

4.根据权利要求1所述的一种晶片腐蚀机，其特征在于，所述上料组件包括中空结构的机壳，所述机壳一侧竖直设置有滚珠丝杠，所述滚珠丝杠包括螺杆以及螺母，所述螺杆底部连接有驱动电机，所述螺杆顶部通过轴承固定；所述螺母上连接有板件，所述板件贯穿至机壳内部，所述机壳内部的板件上竖直排列有多个腐蚀架。

5.根据权利要求4所述的一种晶片腐蚀机，其特征在于，所述搬运组件靠近上料组件一端设置有光电传感器，所述光电传感器与上料组件电性连接，当光电传感器接收到信号时，触发上料组件动作。