[实用新型]一种硅片垂直转水平传输防滑移装置

权利要求书

1.一种硅片垂直转水平传输防滑移装置，其特征在于，包括月亮弯板（1）和滚轴（6），所述月亮弯板（1）上设有圆弧部（7），月亮弯板（1）的两端分别设有滚轴（6）；所述月亮弯板（1）和滚轴（6）上设置平皮带（3），滚轴（6）转动从而带动平皮带（3）移动；所述月亮弯板（1）的圆弧部（7）表面开有凹槽（2），月亮弯板（1）的一侧侧部开有吸风口（5），所述吸风口（5）与凹槽（2）连通；所述平皮带（3）上均布排孔（4）。

2.如权利要求1所述的硅片垂直转水平传输防滑移装置，其特征在于，所述凹槽（2）为弧形，凹槽（2）设置于圆弧部（7）的中部。

3.如权利要求1所述的硅片垂直转水平传输防滑移装置，其特征在于，所述凹槽（2）的中部向下设有槽孔（8），槽孔（8）与吸风口（5）连通。

4.如权利要求1所述的硅片垂直转水平传输防滑移装置，其特征在于，所述排孔（4）的直径为2-3mm，所述凹槽（2）的深度为18-20mm。