[实用新型]一种硅片垂直转水平传输防滑移装置

说明书

本实用新型涉及一种硅片垂直转水平传输防滑移装置，包括月亮弯板和滚轴，所述月亮弯板上设有圆弧部，月亮弯板的两端分别设有滚轴；所述月亮弯板和滚轴上设置平皮带，滚轴转动从而带动平皮带移动；所述月亮弯板的圆弧部表面开有凹槽，月亮弯板的一侧侧部开有吸风口，所述吸风口与凹槽连通；所述平皮带上均布排孔。本实用新型使硅片在由垂直转水平传输过程中保持稳定，防止产生滑移。

技术领域

本实用新型涉及一种硅片垂直转水平传输防滑移装置，属于硅片分片传送装置技术领域。

背景技术

现有的硅片分片传送装置，主要是用水刀将层叠的硅片组100逐片分离，分离后的单片硅片通过吸盘固定，吸盘再将单片的硅片移送到水平的传送带上，进行烘干和包装，具体结构见发明专利20151005109.6。硅片分片传送装置，包括硅片组传送装置，还包括竖向传送装置和水平过渡传送装置，所述的硅片组传送装置末端与竖向传送装置连接，竖向传送装置与水平过渡传送装置共用同一传送带，竖向传送装置与水平过渡传送装置的连接处有压轮；所述的传送带上有通孔，所述的竖向传送装置还有硅片吸盘，所述的硅片吸盘安装在传送带的背面，所述的硅片吸盘上有气孔，所述的气孔与传送带上的通孔对应，所述的气孔与抽气装置连接；所述的传送带为两条，分别与前板的两排气孔位置对应；所述的硅片吸盘包括前板和后板，所述的前板有两排竖直排列的气孔 ，所述的后板对应有两个竖直的槽，所述的两个竖直的槽分别与抽气孔连通，所述抽气孔与抽气装置连接；硅片组传送装置的末端安装有硅片分片水刀，硅片组传送装置末端还安装有推送喷头，所述的推送喷头喷射方向朝向竖向传送装置。

上述硅片分片传送装置所存在的问题在于，当硅片被吸盘吸住后，经过竖向传送装置，再传送到水平过渡传送装置，此时，硅片容易在水平过渡传送装置的月亮弯板上产生滑移，因而影响传送的稳定性。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的不足，提供一种硅片垂直转水平传输防滑移装置，使硅片在由垂直转水平传输过程中保持稳定，防止产生滑移。

按照本实用新型提供的技术方案：一种硅片垂直转水平传输防滑移装置，包括月亮弯板和滚轴，所述月亮弯板上设有圆弧部，月亮弯板的两端分别设有滚轴；所述月亮弯板和滚轴上设置平皮带，滚轴转动从而带动平皮带移动；所述月亮弯板的圆弧部表面开有凹槽，月亮弯板的一侧侧部开有吸风口，所述吸风口与凹槽连通；所述平皮带上均布排孔。

进一步地，所述凹槽为弧形，凹槽设置于圆弧部的中部。

进一步地，所述凹槽的中部向下设有槽孔，槽孔与吸风口连通。

进一步地，所述排孔的直径为2-3mm，所述凹槽的深度为18-20mm。

本实用新型与现有技术相比，具有如下优点：

本实用新型结构简单新颖，安装在硅片分片传送装置的水平过渡传送装置上，使硅片在由垂直转水平传输过程中保持稳定，防止产生滑移。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的剖视图。

附图标记说明：1-月亮弯板，2-凹槽，3-平皮带，4-排孔，5-吸风口，6-滚轴、7-圆弧部、8-槽孔。

具体实施方式

下面结合具体附图对本实用新型作进一步说明。

如图1和图2所示，一种硅片垂直转水平传输防滑移装置，包括月亮弯板1和滚轴6，所述月亮弯板1上设有圆弧部7，月亮弯板1的两端分别设有滚轴6；所述月亮弯板1和滚轴6上设置平皮带3，滚轴6转动从而带动平皮带3移动；所述月亮弯板1的圆弧部7表面开有凹槽2，月亮弯板1的一侧侧部开有吸风口5，所述吸风口5与凹槽2连通；所述平皮带3上均布排孔4。

所述凹槽2为弧形，凹槽2设置于圆弧部7的中部。