[实用新型]一种用于蒸镀的坩埚结构及蒸镀设备

说明书

本实用新型公布一种用于蒸镀的坩埚结构及蒸镀设备，其中坩埚结构包括内层坩埚、外层坩埚、上盖、第一垫片和第二垫片；所述内层坩埚包括顶部敞口的第一腔体，所述第一腔体用于容置蒸镀物；所述外层坩埚包括顶部敞口的第二腔体，所述内层坩埚的外壁通过所述第一垫片设置在所述第二腔体中，所述第一垫片用于增加内层坩埚和外层坩埚的导热均匀性；所述上盖的底部通过第二垫片设置在内层坩埚的顶部上，所述第二垫片用于增加上盖和内层坩埚之间的导热均匀性，所述上盖包括喷嘴，所述喷嘴连通上盖的一侧和位于上盖另一侧的第一腔体。上述技术方案解决内层坩埚中的蒸镀物受热不均造成镀率不稳定的问题，减少外层坩埚或者内层坩埚发生碎裂的概率。

技术领域

本领域涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种用于蒸镀的坩埚结构及蒸镀设备。

背景技术

有机发光二极管(organiclight-emittingdisplay，缩写OLED)具有对比度更高、色域广、视角广、低功耗、体积更小等优点。OLED显示屏主要工艺流程为将装在坩埚内蒸镀物进行加热，使其升华成气体分子附着在基板的特定区域上的一个过程。OLED器件包括有机层及金属层，金属层采用功函数低、透光性及导电性好等金属材料，一般有银、镁、铝等，金属层的蒸镀相较于有机层需要更高的加热温度。目前金属层用的坩埚的材料一般为石墨或热解氮化硼(pyrolyticboronnitride，缩写PBN)材料，石墨或热解氮化硼的导热性及耐高温性均较好，但成本高且易碎，使得坩埚的使用寿命低，并需要定期更换，另外经高低温循环后的金属材料易渗透坩埚壁内，使得坩埚在使用中破裂导致熔融态金属流出，造成蒸发源短路损坏。

针对上述问题，目前行业有提出套嵌式的坩埚方案，套嵌式的坩埚在实际高温加热时，内层坩埚中的蒸镀材料受热均匀性差，外层坩埚容易出现破裂，进而导致蒸镀材料流出。

实用新型内容

为此，需要提供一种用于蒸镀的坩埚结构及蒸镀设备，解决坩埚在高温时出现破裂，导致蒸镀材料流出的问题。

为实现上述目的，本实施例提供了一种用于蒸镀的坩埚结构，包括内层坩埚、外层坩埚、上盖、第一垫片和第二垫片；

所述内层坩埚包括顶部敞口的第一腔体，所述第一腔体用于容置蒸镀物；

所述外层坩埚包括顶部敞口的第二腔体，所述内层坩埚的外壁通过所述第一垫片设置在所述第二腔体中，所述第一垫片用于增加内层坩埚和外层坩埚的导热均匀性；

所述上盖的底部通过第二垫片设置在内层坩埚的顶部上，所述第二垫片用于增加上盖和内层坩埚之间的导热均匀性，所述上盖包括喷嘴，所述喷嘴连通上盖的一侧和位于上盖另一侧的第一腔体。

进一步地，所述上盖的侧壁也通过第二垫片设置在第二腔体上。

进一步地，所述外层坩埚的顶部的高度低于所述上盖的顶部的高度。

进一步地，所述第二垫片的顶部的高度低于所述外层坩埚的顶部的高度。

进一步地，所述内层坩埚为热解氮化硼的内层坩埚，所述第一垫片为石墨的第一垫片，所述外层坩埚为钽的外层坩埚。

进一步地，所述内层坩埚的横截面的形状为圆形，所述第一垫片的横截面的形状为圆形，所述第二腔体的横截面的形状为圆形。

本实施例还提供一种蒸镀设备，包括坩埚结构和加热装置，所述加热装置设置在所述坩埚结构的一侧，所述坩埚结构为上述任意一项所述的一种用于蒸镀的坩埚结构。

区别于现有技术，上述技术方案在不同内层坩埚和外层坩埚之间设置第一垫片和第二垫片。第一垫片可以保证处于高温状态下的内层坩埚和外层坩埚导热的均匀性。第二垫片防止上盖卡在内层坩埚上，同时增加内层坩埚与上盖之间的密闭性。上述技术方案解决内层坩埚中的蒸镀物受热不均造成镀率不稳定的问题，减少外层坩埚、内层坩埚或者上盖发生碎裂的概率，避免内层坩埚中的蒸镀物流出造成蒸发源短路损坏，提高了生产效率和经济效益。