[实用新型]移相器和天线装置

权利要求书

1.一种移相器，其特征在于，包括衬底、设置在所述衬底上且沿第一方向延伸的传输线，以及设置在所述传输线的延伸方向两侧的第一参考电极和第二参考电极；其中，所述传输线包括沿所述第一方向并排，且间隔设置的多个传输线段，所述多个传输线段中的每个沿所述第一方向延伸；任意两相邻的所述传输线段之间间隙限定出一个连接区；所述移相器还包括至少一个移相单元；每个所述移相单元包括：沿所述第一方向延伸的膜桥和沿第二方向延伸的连接电极；在所述连接电极背离所述衬底的一侧设有层间绝缘层；所述连接电极的两端分别连接所述第一参考电极和所述第二参考电极，且所述连接电极在所述衬底上的正投影位于所述连接区；所述膜桥的两端分别连接限定出所述连接区的两个传输线段；每个所述移相单元中的连接电极位于所述膜桥与所述衬底所形成的空间内。

2.根据权利要求1所述的移相器，其特征在于，所述移相单元的数量为多个，各个所述移相单元中的膜桥与所述连接电极之间的间距相等。

3.根据权利要求1所述的移相器，其特征在于，所述移相单元的数量为多个，至少部分所述移相单元中的所述膜桥与所述连接电极之间的间距不等。

4.根据权利要求3所述的移相器，其特征在于，沿所述第一方向，各个所述移相单元中的所述膜桥与所述连接电极之间的间距单调增或者单调减。

5.根据权利要求1所述的移相器，其特征在于，所述移相单元的数量为多个，至少部分所述移相单元中的所述膜桥与所述连接电极在所述衬底上的正投影的交叠面积不同。

6.根据权利要求1所述的移相器，其特征在于，各个所述膜桥的尺寸相同，沿所述第一方向，各所述连接电极的尺寸单调增或者单调减。

7.根据权利要求1所述的移相器，其特征在于，所述第一参考电极、所述第二参考电极、所述连接电极以及所述传输线同层设置，且材料相同。

8.根据权利要求1所述的移相器，其特征在于，所述第一参考电极、所述第二参考电极和所述连接电极连接为一体结构。

9.根据权利要求1所述的移相器，其特征在于，所述膜桥的材料包括铝硅合金。

10.根据权利要求1所述的移相器，其特征在于，所述传输线段的材料包括铜或金。

11.一种天线装置，其特征在于，包括如权利要求1-10任一项所述的移相器。