[实用新型]一种气浮转盘装置有效
申请号: | 202120215232.4 | 申请日: | 2021-01-26 |
公开(公告)号: | CN215008176U | 公开(公告)日: | 2021-12-03 |
发明(设计)人: | 朱亮;沈文杰;赵志鹏;葛彦杰;倪志刚;魏圳辰;张帅;汤承伟 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/687;H01L21/68 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 312300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 转盘 装置 | ||
1.一种气浮转盘装置,其特征在于,包括:机架、旋转中心组件和气浮;
所述旋转中心组件包括设于机架上端面的旋转盘定中轴,所述气浮呈扇环形,有三个均匀分布于以旋转盘定中轴为中心的圆周上;气浮式旋转盘中心开有通孔,通孔顶端设有封盖,旋转盘定中轴顶部设于所述通孔内并通过轴承相连;
所述机架上还设有同步带轮和惰轮,伺服电机设于机架上并与同步带轮相连,同步带绕设过所述气浮式旋转盘外缘和惰轮并与同步带轮相连;所述气浮旋转盘旁侧的机架上还设有多个传感器,用于检测气浮式旋转盘的转动角度。
2.根据权利要求1所述的气浮转盘装置,其特征在于,还包括调节装置,所述调节装置包括设于机架上的同步带轮调节块,调节杆一端设于同步带轮调节块内,且能旋转,另一端通过螺纹与电机安装板相连,电机安装板上设置有腰形孔,固定螺钉穿过腰形孔将电机安装板固定在机架上,转动调节杆能通过调节杆上带螺纹的一端拧入电机安装板的深度调节同步带轮和旋转中心组件的中心距。
3.根据权利要求1所述的气浮转盘装置,其特征在于,同步带通过皮带固定板将固定在气浮式转盘上。
4.根据权利要求1所述的气浮转盘装置,其特征在于,所述气浮式转盘转动方式为顺时针转动180°,逆时针转动180°,循环进行。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造