[实用新型]一种插片导向夹具有效
| 申请号： | 202120238426.6 | 申请日： | 2021-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN213878057U | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67;H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 秦广成 |
| 地址： | 242074 安徽省宣城市经济*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 导向 夹具 | ||
1.一种插片导向夹具，用于花篮的硅片插入导向，所述花篮包括由硅片支撑杆构成的多个间隔设置的卡槽，其特征在于，包括：
导向板(1)，用于安装于所述花篮的侧边并对所述花篮的卡槽进行延伸限位，所述导向板(1)上间隔设有多个导向片(2)，所述导向片(2)与所述花篮的卡槽对应；
固定件，设置于所述导向板(1)的相对两端，用于将所述导向板(1)安装于所述花篮上。
2.根据权利要求1所述的一种插片导向夹具，其特征在于，所述固定件为使得所述导向板(1)与所述花篮的端板连接的弹性支撑件(3)。
3.根据权利要求2所述的一种插片导向夹具，其特征在于，所述弹性支撑件(3)为滚珠弹簧锁销，所述滚珠弹簧锁销设有滚珠的一端与所述花篮的端板相抵接。
4.根据权利要求3所述的一种插片导向夹具，其特征在于，所述导向板(1)的两侧均设有多个所述滚珠弹簧锁销，且多个所述滚珠弹簧锁销间隔设置。
5.根据权利要求1-4任一项所述的一种插片导向夹具，其特征在于，所述导向板(1)的长度与所述硅片支撑杆的长度相适配。
6.根据权利要求1-4任一项所述的一种插片导向夹具，其特征在于，所述导向片(2)的宽度范围为相邻两根所述硅片支撑杆上一对所述卡槽的距离的1/10-1/9。
7.根据权利要求1-4任一项所述的一种插片导向夹具，其特征在于，所述导向板(1)及所述导向片(2)采用聚丙烯材质模具加工成型。
8.根据权利要求1-4任一项所述的一种插片导向夹具，其特征在于，所述导向板(1)背向设有所述导向片(2)一侧设有连接板(4)，所述连接板(4)的面积大于所述导向板(1)的面积，且所述连接板(4)位于花篮的外部，所述连接板(4)远离所述导向板(1)的一侧设有把手(5)。
9.根据权利要求1-4任一项所述的一种插片导向夹具，其特征在于，插片导向夹具设有一对，且一对插片导向夹具对称设置于所述花篮的两侧；相邻两所述导向片(2)的间距与所述卡槽的槽宽相适配。
10.根据权利要求1-4任一项所述的一种插片导向夹具，其特征在于，所述导向板(1)包括两块或多块沿所述硅片支撑杆长度方向设置的板体依次铰接连接而成，所述导向片(2)设置在所述板体上。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙），未经宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙）许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202120238426.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种钙钛矿激光器工作用循环冷却结构
- 下一篇：一种智能楼宇可视化对讲终端
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
