[实用新型]一种插片导向夹具有效
申请号: | 202120238426.6 | 申请日: | 2021-01-26 |
公开(公告)号: | CN213878057U | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业(有限合伙) |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67;H01L21/673 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 秦广成 |
地址: | 242074 安徽省宣城市经济*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 导向 夹具 | ||
本实用新型涉及硅片清洗装置技术领域,具体涉及一种插片导向夹具。一种插片导向夹具,包括:导向板,用于安装于花篮的侧边并对花篮的卡槽进行延伸限位,导向板上间隔设有多个导向片,导向片与花篮的卡槽对应;固定件,设置于导向板的相对两端,用于将导向板安装于花篮上。本实用新型提供的一种插片导向夹具,利用设于导向板上的导向片对插入硅片支撑杆上的卡槽内的硅片提供导向,保证硅片顺利的由一个硅片支撑杆上的卡槽插入另一硅片支撑杆上相对应的卡槽,避免硅片在插入时发生歪斜,因此,避免了由于硅片的歪斜导致的硅片的摩擦划伤、崩边缺角以及相邻硅片的粘连,不仅降低了硅片的插片不良率,而且提高了插片效率。
技术领域
本实用新型涉及硅片清洗装置技术领域,具体涉及一种插片导向夹具。
背景技术
太阳能电池是一种直接把光能转换成电能的半导体器件,光电转换效率高,主要应用于利用太阳能发电。花篮作为太阳能电池制造过程中最重要的工装之一,主要作用是承载着硅片流动于整个太阳能电池制造过程,硅片在工艺过程中不断在各种装片盒与装片花篮之间进行转换来满足不同的工艺需求。
在现有技术中,花篮通常包括相对设置的一对侧板,以及设于一对侧板之间的多根硅片支撑杆,硅片支撑杆上均开设有多个卡槽。正常生产中,通过机械手将硅片放入花篮。但是,在生产过程产生不良品时,需要通过返工去除硅片表面已经形成结构,对硅片进行再次利用,使不良产品得到改善。返工时的硅片同样需要花篮来装载,但此时只能手动导入指定的返工湿花篮内,一个湿花篮可装载100片硅片。当将硅片插设于花篮内时,需要将硅片插设于卡槽内,由于沿硅片的插入方向上间隔设置的硅片支撑杆之间为镂空设置,因此会导致硅片插入时发生倾斜,出现插错卡槽位,进而导致硅片的摩擦划伤、崩边缺角以及相邻硅片的粘连。不仅插片效率低,而且由于硅片的倾斜插入会导致硅片不良率较高。
实用新型内容
因此,本实用新型要解决的技术问题在于克服现有的花篮在插入硅片时插片效率低,且容易发生歪斜,导致硅片不良率高的缺陷。
为解决上述技术问题,本实用新型提供了一种插片导向夹具,用于花篮的硅片插入导向,所述花篮包括由硅片支撑杆构成的多个间隔设置的卡槽,包括:
导向板,用于安装于所述花篮的侧边并对所述花篮的卡槽进行延伸限位,所述导向板上间隔设有多个导向片,所述导向片与所述花篮的卡槽对应;
固定件,设置于所述导向板的相对两端,用于将所述导向板安装于所述花篮上。
所述固定件为使得所述导向板与所述花篮的端板连接的弹性支撑件。
所述弹性支撑件为滚珠弹簧锁销,所述滚珠弹簧锁销设有滚珠的一端与所述花篮的端板相抵接。
所述导向板的两侧均设有多个所述滚珠弹簧锁销,且多个所述滚珠弹簧锁销间隔设置。
所述导向板的长度与构成所述花篮的卡槽的所述硅片支撑杆的长度相适配。
所述导向片的宽度范围为相邻两根所述硅片支撑杆上一对所述卡槽的距离的1/10-1/9。
所述导向板及所述导向片采用聚丙烯材质模具加工成型。
所述导向板背向设有所述导向片一侧设有连接板,所述连接板的面积大于所述导向板的面积,且所述连接板位于花篮的外部,所述连接板远离所述导向板的一侧设有把手。
插片导向夹具设有一对,且一对插片导向夹具对称设置于所述花篮的两侧;相邻两所述导向片的间距与所述卡槽的槽宽相适配。
所述导向板包括两块或多块沿所述硅片支撑杆长度方向设置的板体依次铰接连接而成,所述导向片设置在所述板体上。
本实用新型技术方案,具有如下优点:
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业(有限合伙),未经宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业(有限合伙)许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202120238426.6/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种钙钛矿激光器工作用循环冷却结构
- 下一篇:一种智能楼宇可视化对讲终端
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造