[实用新型]一种清洗转运花篮有效
申请号: | 202120252740.X | 申请日: | 2021-01-27 |
公开(公告)号: | CN214336689U | 公开(公告)日: | 2021-10-01 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业(有限合伙) |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人: | 张奕轩;彭一波 |
地址: | 242074 安徽省宣城市宣城经*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 清洗 转运 花篮 | ||
1.一种清洗转运花篮,其特征在于,包括底部栅栏以及位于所述底部栅栏相对两侧且分别与所述底部栅栏垂直设置的第一栅栏和第二栅栏,在所述第一栅栏和所述第二栅栏之间设有放置栏,所述放置栏相对于所述第一栅栏和所述第二栅栏的设置方向倾斜,且所述放置栏的相对端分别与所述第一栅栏和所述第二栅栏接触,底端位于所述底部栅栏的中线。
2.根据权利要求1所述的清洗转运花篮,其特征在于:所述放置栏为凹槽结构,底部设置有排液缺口。
3.根据权利要求1所述的清洗转运花篮,其特征在于:所述放置栏包括相对设置的一对夹持部,一对所述夹持部的端部分别固定在所第一栅栏和所第二栅栏上,一对所述夹持部之间用于承载和固定硅片。
4.根据权利要求3所述的清洗转运花篮,其特征在于:所述夹持部包括一对平行设置的弹性夹持条,所述夹持条在背离所述底部栅栏一侧的表面为波浪形。
5.根据权利要求3所述的清洗转运花篮,其特征在于:所述放置栏中的一对所述夹持部相互垂直。
6.根据权利要求1所述的清洗转运花篮,其特征在于:所述放置栏为多个,并且所述多个放置栏相互平行设置。
7.根据权利要求1-6之任一项所述的清洗转运花篮,其特征在于:各所述放置栏之间的间距为3~7mm。
8.根据权利要求1-6之任一项所述的清洗转运花篮,其特征在于:所述清洗转运花篮还包括与所述底部栅栏、第一栅栏和第二栅栏均垂直设置的挡板,以及与所述挡板相对设置的把手,距离所述把手最近的所述放置栏与所述把手之间的距离为25~35mm。
9.根据权利要求1-6之任一项所述的清洗转运花篮,其特征在于:所述第一栅栏、所述第二栅栏和所述底部栅栏均由条形丝构成。
10.根据权利要求1-6之任一项所述的清洗转运花篮,其特征在于:所述第一栅栏、所述第二栅栏和所述底部栅栏的材质为不锈钢。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造