[实用新型]一种布气装置和镀膜装置

权利要求书

1.一种布气装置，其特征在于，包括固定板，所述固定板上设置有布气腔组，所述布气腔组包括多个布气腔，所述布气腔的腔壁上设有进气口以及与所述进气口连通的多个散气口，所述进气口用于向所述布气腔引入外部气源，多个所述散气口均位于所述布气腔的同一侧且均匀分布。

2.根据权利要求1所述的布气装置，其特征在于，所述布气腔组包括条状主布气腔和多个辅布气腔，所述辅布气腔沿所述主布气腔的长度方向依次排列分布。

3.根据权利要求2所述的布气装置，其特征在于，所述主布气腔上设有多个沿所述主布气腔长度方向间隔分布的进气口，用于从所述主布气腔的不同位置引入外部气源。

4.根据权利要求2所述的布气装置，其特征在于，所述固定板的侧边上设有护板，多个所述护板围合成环绕所述布气腔组的护圈，用以包围从所述散气口发散的气体并规制气体流向。

5.根据权利要求3所述的布气装置，其特征在于，所述主布气腔上的所述进气口沿所述主布气腔长度方向等距分布。

6.根据权利要求1-5任一项所述的布气装置，其特征在于，所述布气腔采用不锈钢、铝、铜或含铜合金材料中的任一种制成。

7.根据权利要求1-5任一项所述的布气装置，其特征在于，所述进气口上设有与所述布气腔固定连接的气路连接头，所述气路连接头与外部气源连接，所述外部气源包括氩气、氧气或氢气。

8.根据权利要求1-5任一项所述的布气装置，其特征在于，所述布气装置还包括支撑块和压杆，所述支撑块成对设置于所述固定板相对的两侧边，所述压杆的一端设有限位块，所述压杆的另一端上设有插销，所述压杆通过所述限位块和所述插销支撑于所述支撑块之间，所述布气腔固定于所述压杆和固定板之间。

9.一种镀膜装置，包括镀膜腔室，所述镀膜腔室内设置有用于固定靶材的靶材座，其特征在于，所述镀膜腔室内还设置有权利要求1-8任一项所述的布气装置，所述布气装置平行设置于所述靶材座背离所述靶材的一侧，且所述散气口朝向所述靶材座，通过所述布气腔向所述镀膜腔室引入外部气源。

10.根据权利要求9所述的镀膜装置，其特征在于，所述固定板上设置有固定块，所述固定块用于将所述固定板安装在所述镀膜腔室上。