[实用新型]一种磁控溅射真空镀膜机有效
| 申请号： | 202120258709.7 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN214327869U | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 谢学东;谢辉东 | 申请（专利权）人： | 丹阳市宝来利真空机电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 盐城市苏知桥知识产权代理事务所(普通合伙) 32439 | 代理人： | 耿丹丹 |
| 地址： | 212300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 真空镀膜 | ||
1.一种磁控溅射真空镀膜机，包括底座(4)，其特征在于：所述底座(4)的顶部固定安装有设备外壳(11)，所述底座(4)顶部的右侧固定安装有第一电机(7)，所述第一电机(7)的输出轴固定安装有蜗杆(9)，所述设备外壳(11)的右侧壁活动安装有转杆(6)，所述转杆(6)的外侧固定安装有一端与蜗杆(9)相啮合的蜗轮(8)，所述转杆(6)的左侧固定安装有转动架(5)，所述设备外壳(11)的左侧活动安装有拉杆(1)，所述拉杆(1)的右侧固定安装有推环(17)，所述拉杆(1)的外侧固定安装有挤压弹簧(19)，所述推环(17)的右侧活动安装有限位架(18)，所述设备外壳(11)右侧的顶部固定安装有第二电机(10)，所述第二电机(10)的输出轴固定安装有螺纹杆(13)，所述螺纹杆(13)的外侧活动安装有移动块(16)，所述移动块(16)的底部固定安装有磁控喷射头(14)，所述移动块(16)的顶部固定安装有滑动板(15)，所述设备外壳(11)的内顶壁固定安装有滑轨(12)，所述设备外壳(11)左侧的底部固定安装有电推杆(2)，所述电推杆(2)的输出轴固定安装有推板(3)。
2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述推环(17)的右侧固定安装有连接轴承，且推环(17)通过连接轴承与限位架(18)活动连接，所述拉杆(1)的左侧固定安装有把手。
3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述推板(3)呈L字型，所述移动块(16)的右侧开设有螺纹孔，且螺纹孔与螺纹杆(13)相适配。
4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述滑轨(12)的底部开设有滑槽，且滑槽与滑动板(15)相适配，所述推板(3)的底部固定安装有毛刷。
5.根据权利要求1所述的一种磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述拉杆(1)与推环(17)呈九十度垂直安装，所述第二电机(10)与第一电机(7)的外侧均固定安装有连接座。
6.根据权利要求1所述的一种磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述设备外壳(11)的左侧开设有穿孔，且穿孔与拉杆(1)相适配，所述设备外壳(11)的右侧活动安装有转动套轴，且设备外壳(11)通过转动套轴与转杆(6)活动连接。
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