[实用新型]一种高效率检测晶圆的中测台

权利要求书

1.一种高效率检测晶圆的中测台，包括探针台本体(1)，探针台本体(1)上开设有放置槽(11)，放置槽(11)内连接有同轴光装置(2)，同轴光装置(2)包括载具板(21)和同轴光源(22)，载具板(21)上对应于同轴光源(22)的位置开设有透光孔(211)，其特征在于：放置槽(11)内可拆卸连接有第一遮光罩(3)，第一遮光罩(3)的外侧壁与放置槽(11)的内侧壁相互贴合，第一遮光罩(3)的顶盖上固定连接有散热风扇(4)，散热风扇(4)的出风口正对同轴光装置(2)，第一遮光罩(3)的顶盖上开设有呈竖向设置的第一通风孔(33)。

2.根据权利要求1所述的一种高效率检测晶圆的中测台，其特征在于：同轴光源(22)上固定连接有散热鳍板(23)。

3.根据权利要求1所述的一种高效率检测晶圆的中测台，其特征在于：散热风扇(4)的上方罩设有第二遮光罩(5)，第二遮光罩(5)的竖向侧壁上开设有第二通风孔(51)。

4.根据权利要求1所述的一种高效率检测晶圆的中测台，其特征在于：第一遮光罩(3)的内侧壁固定连接有用于遮挡从第一通风孔(33)漏进的光的挡光板(6)，挡光板(6)上开设有供气流通过的通风口(61)，挡光板(6)位于散热风扇(4)和同轴光装置(2)之间。

5.根据权利要求4所述的一种高效率检测晶圆的中测台，其特征在于：挡光板(6)上连接有防尘滤网(7)，防尘滤网(7)遮挡通风口(61)。

6.根据权利要求5所述的一种高效率检测晶圆的中测台，其特征在于：防尘滤网(7)上连接有紧固螺栓(71)，紧固螺栓(71)穿过防尘滤网(7)并螺纹连接于挡光板(6)的下表面。

7.根据权利要求1所述的一种高效率检测晶圆的中测台，其特征在于：同轴光源(22)处设置有温度传感器(9)，温度传感器(9)通过控制系统电性连接于散热风扇(4)。

8.根据权利要求1所述的一种高效率检测晶圆的中测台，其特征在于：同轴光装置(2)上固定连接有引风罩(8)，同轴光源(22)位于引风罩(8)内，引风罩(8)与同轴光源(22)的水平距离随着高度的增加而逐渐增大。