[实用新型]一种晶圆输送上料机构

权利要求书

1.一种晶圆输送上料机构，其特征在于，包括框架(1)、设置于所述框架(1)上的Y轴移动装置(2)和平台装置(3)、设置于所述Y轴移动装置(2)上的Z轴移动装置(4)、与所述Z轴移动装置(4)相连接的夹框装置(5)和推料杆装置(6)，其中所述平台装置(3)位于所述Y轴移动装置(2)的一侧。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆输送上料机构，其特征在于，所述推料杆装置(6)包括与所述Z轴移动装置(4)相连接的推杆支架(601)、设置于所述推杆支架(601)上的推杆安装面板(602)、设置于所述推杆安装面板(602)上的第一直线导轨(603)、设置于所述第一直线导轨(603)一侧的转动组件、设置于所述第一直线导轨(603)上的移载组件。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆输送上料机构，其特征在于，所述移载组件包括设置于所述第一直线导轨(603)上的推杆滑座(6051)、设置于所述推杆滑座(6051)上的第二直线导轨(6052)和弹簧固定座(6053)、设置于所述第二直线导轨(6052)上的推杆固定块(6054)、设置于所述弹簧固定座(6053)和所述推杆固定块(6054)之间的弹簧(6055)、设置于所述推杆固定块(6054)上的晶圆推杆(6056)、设置于所述推杆滑座(6051)和所述推杆固定块(6054)同一侧的推杆连接板(6057)、设置于所述推杆连接板(6057)上的压板(6058)，其中所述压板(6058)与所述转动组件连接。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆输送上料机构，其特征在于，所述转动组件包括第一安装板(6041)、第二安装板(6042)、驱动电机(6043)、两个同步轮(6044)、同步带(6045)，所述第一安装板(6041)和第二安装板(6042)均位于所述第一直线导轨(603)的一侧，所述驱动电机(6043)与所述第一安装板(6041)相连接，其中一个同步轮(6044)与所述驱动电机(6043)的驱动轴相连接、另一个同步轮(6044)与所述第二安装板(6042)相连接，所述同步带(6045)呈闭环状，所述同步带(6045)绕于两个同步轮(6044)上。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆输送上料机构，其特征在于，所述夹框装置(5)包括与所述Z轴移动装置(4)相连接的抓手底板(501)、设置于所述抓手底板(501)一侧的夹框板(502)、设置于所述抓手底板(501)和所述夹框板(502)之间的气缸(503)、分别设置于所述气缸(503)两侧的抓手侧板(504)、与所述气缸(503)相连接的夹框滑座(505)、设置于所述夹框滑座(505)上的上抓手(506)、设置于所述夹框板(502)和所述夹框滑座(505)之间的高度调节座(507)、设置于所述高度调节座(507)和所述夹框滑座(505)之间的第三直线导轨(508)、与所述夹框板(502)的下端相连接的托板安装座(509)、与所述托板安装座(509)相连接的料盒托板(510)和下抓手(511)，其中所述下抓手(511)嵌于所述料盒托板(510)内，上抓手(506)和下抓手(511)上下相对称，所述抓手侧板(504)的两端分别和所述夹框板(502)和所述抓手底板(501)相连接。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆输送上料机构，其特征在于，所述托板安装座(509)呈L形，所述夹框板(502)与所述托板安装座(509)的竖直部分相连接，所述料盒托板(510)与所述托板安装座(509)的水平部分相连接。

7.根据权利要求5所述的一种晶圆输送上料机构，其特征在于，所述夹框滑座(505)呈7字形，所述夹框滑座(505)的竖直部分呈π字形，所述夹框滑座(505)的水平部分位于所述上抓手(506)和所述气缸(503)的伸出端之间。