[实用新型]一种钽环溅射防护罩有效
| 申请号： | 202120316109.1 | 申请日： | 2021-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN214937778U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;冯周瑜;杨广 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 防护罩 | ||
1.一种钽环溅射防护罩，其特征在于，所述钽环溅射防护罩包括第一空心部和第二空心部；
所述第一空心部为渐缩结构，内壁为斜面；所述斜面与水平面的夹角为91-96°；
所述第一空心部中渐缩结构的小端和第二空心部连接；
所述第二空心部为凹型结构；
所述第二空心部中凹型结构的底部设置有凸部；
所述凸部为空心结构；
所述钽环溅射防护罩的内表面设置有花纹。
2.如权利要求1所述的钽环溅射防护罩，其特征在于，所述第一空心部的高度为115-120mm。
3.如权利要求1或2所述的钽环溅射防护罩，其特征在于，所述第一空心部中渐缩结构的大端内径为445-455mm。
4.如权利要求3所述的钽环溅射防护罩，其特征在于，所述第一空心部中渐缩结构的小端内径为430-450mm。
5.如权利要求1或4所述的钽环溅射防护罩，其特征在于，所述第二空心部的内径为430-450mm。
6.如权利要求5所述的钽环溅射防护罩，其特征在于，所述凸部的直径为330-335mm。
7.如权利要求1或6所述的钽环溅射防护罩，其特征在于，所述凸部的高度为14-17mm。
8.如权利要求7所述的钽环溅射防护罩，其特征在于，所述空心结构的内径为315-320mm。
9.如权利要求1或8所述的钽环溅射防护罩，其特征在于，所述第二空心部的侧面设置有钽环固定孔。
10.如权利要求9所述的所述钽环溅射防护罩，其特征在于，所述第二空心部的高度为195-200mm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202120316109.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种护理气垫圈
- 下一篇：一种一次性口腔器械盒
- 同类专利
- 专利分类
