[实用新型]一种基于MEMS技术的真空度检测电路有效
| 申请号： | 202120333908.X | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN214583805U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 赵帅;徐刚刚;余涛;彭凡;康红涛 | 申请（专利权）人： | 国网河南省电力公司方城县供电公司;国网河南省电力公司南阳供电公司;河南省朗硕电力科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 河南大象律师事务所 41129 | 代理人： | 张继锋 |
| 地址： | 473200 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 技术 真空 检测 电路 | ||
1.一种基于MEMS 技术的真空度检测电路，其特征在于，包括供电模块、压力传感器、单片机最小系统、人机交互模块及存储模块；所述单片机最小系统连接有所述压力传感器、所述存储模块；所述人机交互模块通过 RS485 模块与所述单片机最小系统连接；所述供电模块用于向所述基于MEMS 技术的真空度检测电路供电。
2.根据权利要求 1 所述的基于MEMS 技术的真空度检测电路，其特征在于：所述压力传感器为 MS5803-01BA 压力传感器，所述压力传感器的SCLK 端及SDI/SDA 端与所述单片机最小系统连接。
3.根据权利要求 1 所述的基于MEMS 技术的真空度检测电路，其特征在于：所述RS485模块具有MAX3485 芯片，所述 MAX3485 芯片的 RO 端、RE 端、DE 端及DI 端均与单片机最小系统连接，所述 MAX3485 芯片的 B 端及A 端与所述人机交互模块连接。
4.根据权利要求 1 所述的基于MEMS 技术的真空度检测电路，其特征在于：所述单片机最小系统的输出端连接有光电耦合模块，所述光电耦合模块具有光耦，所述光耦的输入端串联在供电模块与所述单片机最小系统的输出端的之间，所述光耦的输出端配合连接有继电器。
5.根据权利要求 1 所述的基于MEMS 技术的真空度检测电路，其特征在于：所述存储模块具有 FM24C08 存储芯片。
6.根据权利要求 1 所述的基于MEMS 技术的真空度检测电路，其特征在于：所述单片机最小系统为 STM32 单片机最小系统。
7.根据权利要求 1 所述的基于MEMS 技术的真空度检测电路，其特征在于：所述供电模块具有第一降压模块及第二降压模块；
所述第一降压模块用于向所述人机交互模块供电，所述第二降压模块用于向所述压力传感器、单片机最小系统、RS485 模块及存储模块供电。
8.根据权利要求 7 所述的基于MEMS 技术的真空度检测电路，其特征在于：所述第一降压模块具有 TPS5430 开关电源芯片，所述第二降压模块具有 AMS1117 稳压器。
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