[实用新型]炉盖组件及具有其的碳化硅晶体生长炉

权利要求书

1.一种炉盖组件，其特征在于，所述炉盖组件包括：

盖板，所述盖板形成有液槽，所述液槽的底壁上设置有支撑件；

护套，所述护套支撑于所述支撑件上并盖住所述液槽，以使所述护套与所述盖板之间形成液体流道，所述支撑件将所述液体流道分成第一流道以及第二流道，且所述支撑件设有连通所述第一流道与所述第二流道的通口，所述护套设有与所述第二流道连通的进液口、以及与所述第一流道连通的避让孔；以及

排液筒，所述排液筒设置于所述液槽的底壁上并穿设于所述避让孔，且所述排液筒的外壁与所述避让孔的孔壁密封配合，所述排液筒设有与所述第一流道连通的第一排液口以及与所述第一排液口连通的第二排液口，所述第二排液口位于所述液体流道的外部。

2.根据权利要求1所述的炉盖组件，其特征在于，所述支撑件为环状结构。

3.根据权利要求2所述的炉盖组件，其特征在于，所述第二流道包围在所述第一流道的外部，所述炉盖组件还包括分流件，所述分流件位于所述支撑件的内侧，所述分流件用于使所述第一流道形成第一环形流道。

4.根据权利要求3所述的炉盖组件，其特征在于，所述通口与所述第一排液口分别位于所述第一环形流道的轴心的两侧。

5.根据权利要求1至4任一项所述的炉盖组件，其特征在于，所述第二流道为第二环形流道，所述第二环形流道具有相对的第一区域以及第二区域，所述第一区域与所述通口直接连通，所述第二区域与所述进液口直接连通。

6.根据权利要求1所述的炉盖组件，其特征在于，还包括第一观察窗，所述护套设有第一装配孔，所述盖板设有与所述第一装配孔对应的第二装配孔，所述第一观察窗穿设于所述第一装配孔以及所述第二装配孔。

7.根据权利要求6所述的炉盖组件，其特征在于，还包括测温仪，所述测温仪设置于所述护套远离所述液体流道的一侧，所述测温仪具有温度探头，所述温度探头与所述第一观察窗相对设置。

8.根据权利要求7所述的炉盖组件，其特征在于，还包括第一挡板单元，所述第一挡板单元包括第一挡板，所述第一挡板位于所述盖板远离所述液体流道的一侧，所述第一挡板遮挡所述第一观察窗，且所述第一挡板与所述第一观察窗之间具有传热间隙。

9.根据权利要求1所述的炉盖组件，其特征在于，还包括第二观察窗，所述护套设有第三装配孔，所述盖板设有与所述第三装配孔对应的第四装配孔，所述第二观察窗穿设于所述第三装配孔以及所述第四装配孔；

所述炉盖组件还包括第二挡板单元，所述第二挡板单元包括第二挡板，所述第二挡板可活动地设置于所述盖板远离所述液体流道的一侧，所述第二挡板可操作地遮挡或避开所述第二观察窗。

10.一种碳化硅晶体生长炉，其特征在于，包括如上权利要求1至9任一项所述的炉盖组件。