[实用新型]炉盖组件及具有其的碳化硅晶体生长炉

说明书

本实用新型公开了一种炉盖组件及具有其的碳化硅晶体生长炉。炉盖组件包括：盖板，盖板形成有液槽，液槽的底壁上设置有支撑件；护套，护套支撑于支撑件上并盖住液槽，以使护套与盖板之间形成液体流道，支撑件将液体流道分成第一流道以及第二流道，且支撑件设有连通第一流道与第二流道的通口，护套设有与第二流道连通的进液口、以及与第一流道连通的避让孔；以及排液筒，排液筒设置于液槽的底壁上并穿设于避让孔，且排液筒的外壁与避让孔的孔壁密封配合，排液筒设有与第一流道连通的第一排液口以及与第一排液口连通的第二排液口，第二排液口位于液体流道的外部。上述的炉盖组件可以避免因受持续的高温而损坏或缩短使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及碳化硅晶体生长技术领域，尤其是涉及一种炉盖组件及具有其的碳化硅晶体生长炉。

背景技术

在进行碳化硅晶体生长实验时，需要将碳化硅原料放在晶体生长炉内，并通过加热装置对碳化硅原料进行加热。而为了得到相应的晶体，加热装置所需提供的温度在2000℃以上，因此，晶体生长炉的炉盖组件的温度也会持续受到加热装置的影响，容易损坏或者缩短使用寿命。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种炉盖组件，用以解决传统的晶体生长炉的炉盖组件容易损坏或使用寿命短的问题。

本实用新型还提出一种具有上述炉盖组件的碳化硅晶体生长炉。

根据本实用新型第一方面实施例的一种炉盖组件，所述炉盖组件包括：盖板，所述盖板形成有液槽，所述液槽的底壁上设置有支撑件；护套，所述护套支撑于所述支撑件上并盖住所述液槽，以使所述护套与所述盖板之间形成液体流道，所述支撑件将所述液体流道分成第一流道以及第二流道，且所述支撑件设有连通所述第一流道与所述第二流道的通口，所述护套设有与所述第二流道连通的进液口、以及与所述第一流道连通的避让孔；以及排液筒，所述排液筒设置于所述液槽的底壁上并穿设于所述避让孔，且所述排液筒的外壁与所述避让孔的孔壁密封配合，所述排液筒设有与所述第一流道连通的第一排液口以及与所述第一排液口连通的第二排液口，所述第二排液口位于所述液体流道的外部。

根据本实用新型实施例的炉盖组件，至少具有如下技术效果：

上述的炉盖组件应用在碳化硅晶体生长炉后，在进行晶体生长实验期间，可以通过进液口往液体流道内源源不断地提供冷却液。冷却液进入液体流道后，先流经第二流道，然后通过支撑件上的通口流向第一流道，之后通过第一排液口流进排液筒内，再从第二排液口流出。如此，冷却液能够对炉盖组件进行冷却，避免炉盖组件因受持续的高温而损坏或缩短使用寿命。并且，由于可以通过进液口持续向液体流道通入冷却液，液体流道内的冷却液可以保持流通状态，并在吸收一定热量后通过排液筒排出，制冷效果好。另外，上述的支撑件能够将液体流道分成第一流道与第二流道，增长了冷却液的流动路径，冷却液可以更好地吸收炉盖组件上的热量，对炉盖组件进行冷却。

根据本实用新型的一些实施例，所述支撑件为环状结构。

根据本实用新型的一些实施例，所述第二流道包围在所述第一流道的外部，所述炉盖组件还包括分流件，所述分流件位于所述支撑件的内侧，所述分流件用于使所述第一流道形成第一环形流道。

根据本实用新型的一些实施例，所述通口与所述第一排液口分别位于所述第一环形流道的轴心的两侧。

根据本实用新型的一些实施例，所述第二流道为第二环形流道，所述第二环形流道具有相对的第一区域以及第二区域，所述第一区域与所述通口直接连通，所述第二区域与所述进液口直接连通。

根据本实用新型的一些实施例，所述的炉盖组件还包括第一观察窗，所述护套设有第一装配孔，所述盖板设有与所述第一装配孔对应的第二装配孔，所述第一观察窗穿设于所述第一装配孔以及所述第二装配孔。