[实用新型]一种电子级六氟化硫吸附装置

权利要求书

1.一种电子级六氟化硫吸附装置，其特征在于，包括低压吸附单元(1)及高压吸附单元(2)，所述低压吸附单元(1)和所述高压吸附单元(2)串联连通，所述低压吸附单元(1)和所述高压吸附单元(2)之间连通一高压压缩机(3)；所述低压吸附单元(1)包括依次串联连通的第一低压吸附塔(11)和第二低压吸附塔(12)，所述第一低压吸附塔(11)中含有硅胶吸附剂，所述第二低压吸附塔(12)中含有铝胶吸附剂；所述高压吸附单元(2)包括第一高压吸附塔(21)、第二高压吸附塔(22)、第三高压吸附塔(23)、第四高压吸附塔(24)和第五高压吸附塔(25)，所述第一高压吸附塔(21)中含铝胶吸附剂，所述第二高压吸附塔(22)中含有5A分子筛吸附剂，所述第三高压吸附塔(23)中含有13X分子筛吸附剂，所述第四高压吸附塔(24)中含有CUCL分子筛吸附剂，所述第五高压吸附塔(25)中含有F-03分子筛吸附剂，所述高压吸附单元(2)的连通顺序为：第一高压吸附塔(21)、第二高压吸附塔(22)、第三高压吸附塔(23)、第四高压吸附塔(24)和第五高压吸附塔(25)依次串联连通，或者第一高压吸附塔(21)、第二高压吸附塔(22)、第四高压吸附塔(24)、第三高压吸附塔(23)和第五高压吸附塔(25)依次串联连通。

2.根据权利要求1所述的电子级六氟化硫吸附装置，其特征在于，所述第一低压吸附塔(11)的级数为3-5；所述第二低压吸附塔(12)的级数为3-5。

3.根据权利要求2所述的电子级六氟化硫吸附装置，其特征在于，所述第一低压吸附塔(11)的任一级上的进口和出口之间连通第一旁路支管(13)，该级第一低压吸附塔(11)的进口和所述第一旁路支管(13)上均设置第一阀门(14)；所述第二低压吸附塔(12)的任一级上的进口和出口之间连通第二旁路支管(15)，该级第二低压吸附塔(12)的进口和所述第二旁路支管(15)上均设置第二阀门(16)。

4.根据权利要求1所述的电子级六氟化硫吸附装置，其特征在于，第二高压吸附塔(22)的级数为2或3。

5.根据权利要求1所述的电子级六氟化硫吸附装置，其特征在于，第三高压吸附塔(23)的级数为2或3。

6.根据权利要求1所述的电子级六氟化硫吸附装置，其特征在于，第四高压吸附塔(24)的级数为3-5。

7.根据权利要求6所述的电子级六氟化硫吸附装置，其特征在于，所述第四高压吸附塔(24)的任一级上的进口和出口之间连通第三旁路支管(26)，该级第四高压吸附塔(24)的进口和所述第三旁路支管(26)上均设置第三阀门(27)。

8.根据权利要求1所述的电子级六氟化硫吸附装置，其特征在于，第五高压吸附塔(25)的级数为8-10。

9.根据权利要求8所述的电子级六氟化硫吸附装置，其特征在于，所述第五高压吸附塔(25)的任一级上的进口和出口之间连通第四旁路支管(28)，该级第五高压吸附塔(25)的进口和所述第四旁路支管(28)上均设置第四阀门(29)。

10.根据权利要求1所述的电子级六氟化硫吸附装置，其特征在于，所述高压吸附单元(2)的出口还连通精馏塔(4)。