[实用新型]一种电子级六氟化硫吸附装置有效
申请号: | 202120341800.5 | 申请日: | 2021-02-06 |
公开(公告)号: | CN214437760U | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 曾熙;赖甜华;邱玲;赖金香;王凤侠;练凯 | 申请(专利权)人: | 福建德尔科技有限公司 |
主分类号: | B01D53/04 | 分类号: | B01D53/04;C01B17/45 |
代理公司: | 厦门原创专利事务所(普通合伙) 35101 | 代理人: | 徐东峰 |
地址: | 364000 福建省龙岩*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电子 六氟化硫 吸附 装置 | ||
1.一种电子级六氟化硫吸附装置,其特征在于,包括低压吸附单元(1)及高压吸附单元(2),所述低压吸附单元(1)和所述高压吸附单元(2)串联连通,所述低压吸附单元(1)和所述高压吸附单元(2)之间连通一高压压缩机(3);所述低压吸附单元(1)包括依次串联连通的第一低压吸附塔(11)和第二低压吸附塔(12),所述第一低压吸附塔(11)中含有硅胶吸附剂,所述第二低压吸附塔(12)中含有铝胶吸附剂;所述高压吸附单元(2)包括第一高压吸附塔(21)、第二高压吸附塔(22)、第三高压吸附塔(23)、第四高压吸附塔(24)和第五高压吸附塔(25),所述第一高压吸附塔(21)中含铝胶吸附剂,所述第二高压吸附塔(22)中含有5A分子筛吸附剂,所述第三高压吸附塔(23)中含有13X分子筛吸附剂,所述第四高压吸附塔(24)中含有CUCL分子筛吸附剂,所述第五高压吸附塔(25)中含有F-03分子筛吸附剂,所述高压吸附单元(2)的连通顺序为:第一高压吸附塔(21)、第二高压吸附塔(22)、第三高压吸附塔(23)、第四高压吸附塔(24)和第五高压吸附塔(25)依次串联连通,或者第一高压吸附塔(21)、第二高压吸附塔(22)、第四高压吸附塔(24)、第三高压吸附塔(23)和第五高压吸附塔(25)依次串联连通。
2.根据权利要求1所述的电子级六氟化硫吸附装置,其特征在于,所述第一低压吸附塔(11)的级数为3-5;所述第二低压吸附塔(12)的级数为3-5。
3.根据权利要求2所述的电子级六氟化硫吸附装置,其特征在于,所述第一低压吸附塔(11)的任一级上的进口和出口之间连通第一旁路支管(13),该级第一低压吸附塔(11)的进口和所述第一旁路支管(13)上均设置第一阀门(14);所述第二低压吸附塔(12)的任一级上的进口和出口之间连通第二旁路支管(15),该级第二低压吸附塔(12)的进口和所述第二旁路支管(15)上均设置第二阀门(16)。
4.根据权利要求1所述的电子级六氟化硫吸附装置,其特征在于,第二高压吸附塔(22)的级数为2或3。
5.根据权利要求1所述的电子级六氟化硫吸附装置,其特征在于,第三高压吸附塔(23)的级数为2或3。
6.根据权利要求1所述的电子级六氟化硫吸附装置,其特征在于,第四高压吸附塔(24)的级数为3-5。
7.根据权利要求6所述的电子级六氟化硫吸附装置,其特征在于,所述第四高压吸附塔(24)的任一级上的进口和出口之间连通第三旁路支管(26),该级第四高压吸附塔(24)的进口和所述第三旁路支管(26)上均设置第三阀门(27)。
8.根据权利要求1所述的电子级六氟化硫吸附装置,其特征在于,第五高压吸附塔(25)的级数为8-10。
9.根据权利要求8所述的电子级六氟化硫吸附装置,其特征在于,所述第五高压吸附塔(25)的任一级上的进口和出口之间连通第四旁路支管(28),该级第五高压吸附塔(25)的进口和所述第四旁路支管(28)上均设置第四阀门(29)。
10.根据权利要求1所述的电子级六氟化硫吸附装置,其特征在于,所述高压吸附单元(2)的出口还连通精馏塔(4)。
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