[实用新型]一种电子级六氟化硫吸附装置

说明书

本实用新型提供了一种电子级六氟化硫吸附装置，包括低压吸附单元及高压吸附单元，所述低压吸附单元和所述高压吸附单元串联连通；所述低压吸附单元包括依次串联连通的第一低压吸附塔和第二低压吸附塔，所述第一低压吸附塔中含有硅胶吸附剂，所述第二低压吸附塔中含有铝胶吸附剂；所述高压吸附单元包括第一高压吸附塔、第二高压吸附塔、第三高压吸附塔、第四高压吸附塔和第五高压吸附塔，所述第一高压吸附塔中含铝胶吸附剂，所述第二高压吸附塔中含有5A分子筛吸附剂，所述第三高压吸附塔中含有13X分子筛吸附剂，所述第四高压吸附塔中含有CUCL分子筛吸附剂，所述第五高压吸附塔中含有F‑03分子筛吸附剂。该装置的吸附效率高。

技术领域

本实用新型涉及一种电子级六氟化硫吸附装置，属于六氟化硫制备技术领域。

背景技术

六氟化硫是一种惰性气体，无色无臭，微溶于水，化学性质稳定，具有良好的电器绝缘性能及优异的灭弧性能，广泛用于电力、电子、电气行业及激光、医疗、气象、物理研究等方面。六氟化硫产品常见的制备方法是采用氟气和硫磺反应而制备，在制备过程中最主要的杂质是低氟化物。低氟化物是指氟气和硫磺反应的副产物，常指硫的低价氟化物，主要包含两大类：一为氟硫化合物，如SF₂、SF₄、S₂F₂、S₂F₁₀等；二为氟氧硫化合物，如SOF₂、SOF₄、SO₂F₂等。国家标准规定，电子行业使用的六氟化硫的纯度要达到99.9％。因此，需要采用措施去除六氟化硫粗气中低氟化物。

反应副产物低氟化物可先通过水洗碱洗除去一部分，但粗气中微量的低氟化物单靠水洗碱洗的净化方法难以除去，仍需采取吸附的方式进一步除去低氟化物。现有的吸附方式中由于吸附可供选择吸附剂种类繁多，往往存在吸附剂配置不合理，或选择吸附净化次序不合理，使得吸附效率低，吸附能力不强，去除低氟化物的效果差，难以达到电子行业使用的高纯度要求。

实用新型内容

本实用新型提供了一种一种电子级六氟化硫吸附装置，可以有效解决上述问题。

本实用新型是这样实现的：

一种电子级六氟化硫吸附装置，包括低压吸附单元(1)及高压吸附单元(2)，所述低压吸附单元(1)和所述高压吸附单元(2)串联连通，所述低压吸附单元(1)和所述高压吸附单元(2)之间连通一高压压缩机(3)；所述低压吸附单元(1)包括依次串联连通的第一低压吸附塔(11)和第二低压吸附塔(12)，所述第一低压吸附塔(11)中含有硅胶吸附剂，所述第二低压吸附塔(12)中含有铝胶吸附剂；所述高压吸附单元(2)包括第一高压吸附塔(21)、第二高压吸附塔(22)、第三高压吸附塔(23)、第四高压吸附塔(24)和第五高压吸附塔(25)，所述第一高压吸附塔(21)中含铝胶吸附剂，所述第二高压吸附塔(22)中含有5A分子筛吸附剂，所述第三高压吸附塔(23)中含有13X分子筛吸附剂，所述第四高压吸附塔(24) 中含有CUCL分子筛吸附剂，所述第五高压吸附塔(25)中含有F-03分子筛吸附剂，所述高压吸附单元(2)的连通顺序为：第一高压吸附塔(21)、第二高压吸附塔(22)、第三高压吸附塔(23)、第四高压吸附塔(24)和第五高压吸附塔(25)依次串联连通，或者第一高压吸附塔(21)、第二高压吸附塔(22)、第四高压吸附塔(24)、第三高压吸附塔(23)和第五高压吸附塔(25)依次串联连通。

作为进一步改进的，所述第一低压吸附塔(11)的级数为3-5；所述第二低压吸附塔(12)的级数为3-5。

作为进一步改进的，所述第一低压吸附塔(11)的任一级上的进口和出口之间连通第一旁路支管(13)，该级第一低压吸附塔(11)的进口和所述第一旁路支管(13)上均设置第一阀门(14)；所述第二低压吸附塔(12) 的任一级上的进口和出口之间连通第二旁路支管(15)，该级第二低压吸附塔(12)的进口和所述第二旁路支管(15)上均设置第二阀门(16)。