[实用新型]一种厂务气体供应系统及厂务系统有效
| 申请号： | 202120345984.2 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN215908866U | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 阙文峰;李秋茂;梁智澎 | 申请（专利权）人： | 泉芯集成电路制造（济南）有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D3/01;G08B21/24 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 250101 山东省济南市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 气体 供应 系统 | ||
1.一种厂务气体供应系统，其特征在于，包括：气体供应装置、缓冲装置和监控装置；
所述气体供应装置的输出端与所述缓冲装置的输入端通过第一管路连接，所述缓冲装置的输出端用于通过第二管路输出气体到机台设备；
所述缓冲装置与所述监控装置连接，所述监控装置用于采集所述缓冲装置的参数，并在所述参数超过预设值时发出报警信号。
2.根据权利要求1所述的厂务气体供应系统，其特征在于，还包括第一流量阀和第二流量阀；
所述第一流量阀设置在第一管路上；
所述第二流量阀设置在第二管路上。
3.根据权利要求1所述的厂务气体供应系统，其特征在于，所述监控装置包括控制器、信息采集模块和报警模块；
所述信息采集模块的输入端与所述缓冲装置连接，所述信息采集模块的输出端与所述控制器的第一端电连接，所述信息采集模块用于采集所述缓冲装置的参数值，并发送到所述控制器；
所述控制器的第二端与所述报警模块电连接，所述控制器用于判断所述参数值超过预设值时，控制所述报警模块发出报警信号。
4.根据权利要求3所述的厂务气体供应系统，其特征在于，所述信息采集模块包括压力传感器和/或流量传感器。
5.根据权利要求3所述的厂务气体供应系统，其特征在于，所述监控装置还包括通讯模块；
所述通讯模块的输入端与所述控制器的第三端通讯连接，所述通讯模块用于接收所述控制器发送的所述缓冲装置的状态信息，所述通讯模块的输出端用于将所述状态信息发送至终端。
6.根据权利要求3所述的厂务气体供应系统，其特征在于，所述报警模块包括蜂鸣器和/或语音播报器。
7.根据权利要求1所述的厂务气体供应系统，其特征在于，所述缓冲装置的容量为预设倍数倍的所述第二管路的容量。
8.根据权利要求7所述的厂务气体供应系统，其特征在于，所述预设倍数为3。
9.一种厂务系统，其特征在于，包括权利要求1-8中任一所述的厂务气体供应系统，还包括机台设备；
气体供应装置的输出端和缓冲装置的输入端通过第一管路连接，缓冲装置的输出端与所述机台设备通过第二管路连接。
10.根据权利要求9所述的厂务系统，其特征在于，所述厂务系统包括至少两个所述厂务气体供应系统。
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