[实用新型]一种厂务气体供应系统及厂务系统

说明书

本实用新型公开了一种厂务气体供应系统及厂务系统。厂务气体供应系统包括：气体供应装置、缓冲装置和监控装置；气体供应装置的输出端与缓冲装置的输入端通过第一管路连接，缓冲装置的输出端用于通过第二管路输出气体到机台设备；缓冲装置与所述监控装置连接，监控装置用于采集缓冲装置的参数，并在参数超过预设值时发出报警信号。本实用新型解决了利用阀门调节气体流量不方便的问题，达到了不用调节阀门即可稳定气体，减小气体波动，避免机台当机的效果。

技术领域

本实用新型实施例涉及气体供应技术，尤其涉及一种厂务气体供应系统及厂务系统。

背景技术

芯片制造过程中,各式生产机台性能稳定为首要课题，其中厂务系统水电气等的供应稳定程度为重要指标，如何实现气体的有效且稳定供应为芯片制造生产必须完善的基本工作。

目前厂端直接供应气体到机台端,或者在厂务源头及分流支点加装蝴蝶阀控制流量。

但是，蝴蝶阀对流量无法精确控制,流量过小造成阀门开关不顺利，调节不方便，容易造成现场机台气体流量和压力不稳定,进而引发机台当机等异常机况发生。

实用新型内容

本实用新型提供一种厂务气体供应系统及厂务系统，以实现不用调节阀门即可稳定气体，减小气体波动，避免机台当机。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种厂务气体供应系统，该厂务气体供应系统包括：气体供应装置、缓冲装置和监控装置；

所述气体供应装置的输出端与所述缓冲装置的输入端通过第一管路连接，所述缓冲装置的输出端用于通过第二管路输出气体到机台设备；

所述缓冲装置与所述监控装置连接，所述监控装置用于采集所述缓冲装置的参数，并在所述参数超过预设值时发出报警信号。

可选地，厂务气体供应系统还包括第一流量阀和第二流量阀；

所述第一流量阀设置在第一管路上；

所述第二流量阀设置在第二管路上。

可选地，所述监控装置包括控制器、信息采集模块和报警模块；

所述信息采集模块的输入端与所述缓冲装置连接，所述信息采集模块的输出端与所述控制器的第一端电连接，所述信息采集模块用于采集所述缓冲装置的参数值，并发送到所述控制器；

所述控制器的第二端与所述报警模块电连接，所述控制器用于判断所述参数值超过预设值时，控制所述报警模块发出报警信号。

可选地，所述信息采集模块包括压力传感器和/或流量传感器。

可选地，所述监控装置还包括通讯模块；

所述通讯模块的输入端与所述控制器的第三端通讯连接，所述通讯模块用于接收所述控制器发送的所述缓冲装置的状态信息，所述通讯模块的输出端用于将所述状态信息发送至终端。

可选地，所述报警模块包括蜂鸣器和/或语音播报器。

可选地，所述缓冲装置的容量为预设倍数倍的所述第二管路的容量。

可选地，所述预设倍数为3。

第二方面，本实用新型实施例还提供了一种厂务系统，该厂务系统包括第一方面所述的厂务气体供应系统，还包括机台设备；

气体供应装置的输出端和缓冲装置的输入端通过第一管路连接，缓冲装置的输出端与所述机台设备通过第二管路连接。

可选地，所述厂务系统包括至少两个所述厂务气体供应系统。