[实用新型]具有连续制程的舱体系统

权利要求书

1.一种具有连续制程的舱体系统，其特征在于，包含：

一舱体；

一显影区，该显影区设在该舱体内，且该显影区具有一横向窄化的显影生产线与一结合该显影生产线的显影设备，并以该显影生产线与该显影设备提供垂向显影；

一电镀区，该电镀区设在该舱体内，且该电镀区具有一横向窄化的电镀生产线与一结合该电镀生产线的电镀设备，并以该电镀生产线与该电镀设备提供垂向连续电镀，且该电镀生产线的前段接续在该显影生产线的后段；

一输送装置，该输送装置设在该舱体内，并位于该显影生产线及该电镀生产线的上方；

一载具，该载具具有一滑台、一挂杆、一框架及复数夹持点，该滑台的底面设置该挂杆，该挂杆的底端结合该框架的顶端，该框架上的预定处设置该夹持点，而该框架在该舱体内呈垂向，且该框架的窄边相对于该显影生产线及该电镀生产线的横向窄化，并以该滑台在该输送装置进行滑动，而连动该框架连续通过该显影生产线及该电镀生产线；以及

一升降装置，该升降装置设在该舱体内，用以升降该滑台，而连动该框架在该显影生产线及该电镀生产线进行升降。

2.如权利要求1所述的具有连续制程的舱体系统，其特征在于：还包括一剥膜区，该剥膜区设在该舱体内，且该剥膜区具有一横向窄化的剥膜生产线与一结合该剥膜生产线的剥膜设备，并以该剥膜生产线与该剥膜设备提供垂向剥膜，且该剥膜生产线的前段接续在该电镀生产线的后段，且该框架的窄边相对于该剥膜生产线的横向窄化，并以该滑台在该输送装置继续滑动，使该框架继续通过该剥膜生产线，配合该升降装置升降该滑台而连动该框架在该剥膜生产线进行升降。

3.如权利要求1所述的具有连续制程的舱体系统，其特征在于，该显影生产线依序包括复数个纵向排列的第一处理槽，配合一电性连接该显影设备的显影电控箱，使该显影电控箱控制该显影设备对各该第一处理槽进行垂向显影。

4.如权利要求1所述的具有连续制程的舱体系统，其特征在于，该电镀生产线依序包括复数个纵向排列的第二处理槽，配合一电性连接该电镀设备的电镀电控箱，使该电镀电控箱控制该电镀设备对各该第二处理槽进行垂向连续电镀。

5.如权利要求2所述的具有连续制程的舱体系统，其特征在于，该剥膜生产线依序包括复数个纵向排列的第三处理槽，配合一电性连接该剥膜设备的剥膜电控箱，使该剥膜电控箱控制该剥膜设备对各该第三处理槽进行垂向剥膜。

6.如权利要求2所述的具有连续制程的舱体系统，其特征在于，该载具包括一滑块、一齿条及一电极块，该滑块及该齿条设置于该滑台的第一侧与该电极块设置于该滑台的第二侧，且该输送装置包括一第一输送结构及一第二输送结构，以该滑块及该齿条位在该第一输送结构上，使该滑台在该第一输送结构进行滑动，而连动该框架在不须导电的该显影生产线或该剥膜生产线进行滑动，或该电极块能够在该第二输送结构上，使该滑台在该第二输送结构进行滑动，而连动该框架在须导电的该电镀生产线进行滑动。

7.如权利要求6所述的具有连续制程的舱体系统，其特征在于，该电镀生产线还包括一整流器，该整流器电性连接该电极块，使该整流器的电流流经该电极块、该滑台、该挂杆、该框架至该夹持点。

8.如权利要求2所述的具有连续制程的舱体系统，其特征在于，该舱体外依序包括一出料设备及一剥挂生产线，该出料设备的前段接续在该剥膜生产线的后段，且该舱体外设有一第二机械手臂，该第二机械手臂设在该出料设备的侧边。

9.如权利要求8所述的具有连续制程的舱体系统，其特征在于，该舱体外依序包括一上框设备及一入料设备，该入料设备的后段接续在该显影生产线的前段，且该舱体外设有一第一机械手臂，该第一机械手臂设在该入料设备的侧边。

10.如权利要求9所述的具有连续制程的舱体系统，其特征在于，该舱体外包括一下框设备，该下框设备的前段接续在该剥挂生产线的后段。