[实用新型]一种晶片平边去胶装置有效

专利信息
申请号: 202120363865.X 申请日: 2021-02-08
公开(公告)号: CN214313142U 公开(公告)日: 2021-09-28
发明(设计)人: 刘五奎;王友伟;徐惠懂;季佳敏 申请(专利权)人: 爱特微(张家港)半导体技术有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/02
代理公司: 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 代理人: 王巍巍
地址: 215600 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 晶片 平边去胶 装置
【权利要求书】:

1.一种晶片平边去胶装置,其特征在于,包括清洗仓(1)、清洗液喷头(2)、气体喷头(3)、导轨(4)和驱动机构;所述的导轨(4)的一端转动连接在所述清洗仓(1)上;所述的清洗液喷头(2)和所述的气体喷头(3)连接在所述驱动机构上;所述的驱动机构连接在所述导轨(4)上,且所述的驱动机构用于驱动所述清洗液喷头(2)和所述气体喷头(3)沿所述导轨(4)的长度方向移动;所述的清洗仓(1)用于放置待去胶的晶片(5),所述的清洗液喷头(2)用于对放置在所述清洗仓(1)中的所述晶片(5)喷射清洗液进行去胶;所述的气体喷头(3)用于对去胶后的所述晶片(5)进行吹干。

2.根据权利要求1所述的一种晶片平边去胶装置,其特征在于,所述的清洗仓(1)为圆筒状结构。

3.根据权利要求2所述的一种晶片平边去胶装置,其特征在于,圆筒状结构的所述清洗仓(1)的端部设置有转接板(6),且所述转接板(6)的一端延伸至所述清洗仓(1)的外部;所述的导轨(4)包括导向板(41)和连接板(42),且所述的导向板(41)和所述连接板(42)垂直连接形成L型结构;所述的连接板(42)通过销轴(7)转动连接在所述转接板(6)上。

4.根据权利要求3所述的一种晶片平边去胶装置,其特征在于,所述的转接板(6)上设置有限位块(8),且所述的限位块(8)位于所述清洗仓(1)和所述连接板(42)之间;所述的限位块(8)用于限制所述连接板(42)的转动角度,使所述连接板(42)与所述转接板(6)保持垂直。

5.根据权利要求3所述的一种晶片平边去胶装置,其特征在于,所述的驱动机构包括驱动电机(9)、滚轮(10)和传送带(11);所述的滚轮(10)有两个;所述的驱动电机(9)固定连接在所述导向板(41)上且靠近所述连接板(42)的一端;两个所述的滚轮(10)分别连接在所述导向板(41)的两端;所述的传送带(11)连接在所述滚轮(10)上;所述的清洗液喷头(2)和所述的气体喷头(3)连接在所述传送带(11)上;所述的驱动电机(9)用于驱动所述滚轮(10)转动。

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