[实用新型]一种晶片平边去胶装置有效
申请号: | 202120363865.X | 申请日: | 2021-02-08 |
公开(公告)号: | CN214313142U | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 刘五奎;王友伟;徐惠懂;季佳敏 | 申请(专利权)人: | 爱特微(张家港)半导体技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/02 |
代理公司: | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人: | 王巍巍 |
地址: | 215600 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶片 平边去胶 装置 | ||
1.一种晶片平边去胶装置,其特征在于,包括清洗仓(1)、清洗液喷头(2)、气体喷头(3)、导轨(4)和驱动机构;所述的导轨(4)的一端转动连接在所述清洗仓(1)上;所述的清洗液喷头(2)和所述的气体喷头(3)连接在所述驱动机构上;所述的驱动机构连接在所述导轨(4)上,且所述的驱动机构用于驱动所述清洗液喷头(2)和所述气体喷头(3)沿所述导轨(4)的长度方向移动;所述的清洗仓(1)用于放置待去胶的晶片(5),所述的清洗液喷头(2)用于对放置在所述清洗仓(1)中的所述晶片(5)喷射清洗液进行去胶;所述的气体喷头(3)用于对去胶后的所述晶片(5)进行吹干。
2.根据权利要求1所述的一种晶片平边去胶装置,其特征在于,所述的清洗仓(1)为圆筒状结构。
3.根据权利要求2所述的一种晶片平边去胶装置,其特征在于,圆筒状结构的所述清洗仓(1)的端部设置有转接板(6),且所述转接板(6)的一端延伸至所述清洗仓(1)的外部;所述的导轨(4)包括导向板(41)和连接板(42),且所述的导向板(41)和所述连接板(42)垂直连接形成L型结构;所述的连接板(42)通过销轴(7)转动连接在所述转接板(6)上。
4.根据权利要求3所述的一种晶片平边去胶装置,其特征在于,所述的转接板(6)上设置有限位块(8),且所述的限位块(8)位于所述清洗仓(1)和所述连接板(42)之间;所述的限位块(8)用于限制所述连接板(42)的转动角度,使所述连接板(42)与所述转接板(6)保持垂直。
5.根据权利要求3所述的一种晶片平边去胶装置,其特征在于,所述的驱动机构包括驱动电机(9)、滚轮(10)和传送带(11);所述的滚轮(10)有两个;所述的驱动电机(9)固定连接在所述导向板(41)上且靠近所述连接板(42)的一端;两个所述的滚轮(10)分别连接在所述导向板(41)的两端;所述的传送带(11)连接在所述滚轮(10)上;所述的清洗液喷头(2)和所述的气体喷头(3)连接在所述传送带(11)上;所述的驱动电机(9)用于驱动所述滚轮(10)转动。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造