[实用新型]一种便于检测气体泄漏的混合气体供应设备有效
| 申请号： | 202120368173.4 | 申请日： | 2021-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN214948233U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 黄金海 | 申请（专利权）人： | 上海弗川自动化技术有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D3/01 |
| 代理公司： | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人： | 李昌霖 |
| 地址： | 201109 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 便于 检测 气体 泄漏 混合气体 供应 设备 | ||
1.一种便于检测气体泄漏的混合气体供应设备，包括吹扫管路、气柜组以及排气管路，所述排气管路包括第一排气管路和第二排气管路，所述气柜组包括气柜CHR和气柜CHL，所述第一排气管路与气柜CHR连通，所述第二排气管路与气柜CHL连通，其特征在于：所述吹扫管路包括气动阀门AV2N，与气动阀门AV2N连接的第一双气动阀门、第二双气动阀门；所述第一双气动阀门包括气动阀门AV7R和气动阀门AV7RA，所述第二双气动阀门包括气动阀门AV7L和气动阀门AV7LA，所述气动阀门AV7R和气动阀门AV7RA之间设置有压力传感器PT4R，所述气动阀门AV7L和气动阀门AV7LA之间设置有压力传感器PT4L。
2.根据权利要求1所述的一种便于检测气体泄漏的混合气体供应设备，其特征在于：所述第一排气管路包括第一排气主管和第一排气副管；所述第一排气主管包括串联设置的气动阀门AV2R、气动阀门AV3R以及手动阀门MV8R，所述第一排气副管包括并联设置的气动阀门AV4R和气动阀门AV5R。
3.根据权利要求2所述的一种便于检测气体泄漏的混合气体供应设备，其特征在于：所述第二排气管路包括第二排气主管和第二排气副管；所述第二排气主管包括串联设置的气动阀门AV2L和气动阀门AV3L以及手动阀门MV8R，所述第二排气副管包括并联设置的气动阀门AV4L和气动阀门AV5L。
4.根据权利要求3所述的一种便于检测气体泄漏的混合气体供应设备，其特征在于：所述第一排气副管和第二排气副管尾部连通。
5.根据权利要求4所述的一种便于检测气体泄漏的混合气体供应设备，其特征在于：所述第一排气副管和第二排气副管的尾部依次设置有压力传感器PT3和气动阀门AV9。
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