[实用新型]一种便于检测气体泄漏的混合气体供应设备

说明书

本实用新型提供一种便于检测气体泄漏的混合气体供应设备，涉及混合气体供应设备领域，包括吹扫管路、气柜组以及排气管路，所述排气管路包括第一排气管路和第二排气管路，所述气柜组包括气柜CHR和气柜CHL，所述第一排气管路与气柜CHR连通，所述第二排气管路与气柜CHL连通，所述吹扫管路包括气动阀门AV2N，与气动阀门AV2N连接的第一双气动阀门、第二双气动阀门；所述第一双气动阀门包括气动阀门AV7R和气动阀门AV7RA，所述第二双气动阀门包括气动阀门AV7L和气动阀门AV7LA。实用新型能够准确判断阀门损坏位置，便于及时更换；并且能够对现有混合气体供应设备无法监测的部分阀门进行实时监测和判断。

技术领域

本实用新型涉及混合气体供应设备领域，特别是涉及一种便于检测气体泄漏的混合气体供应设备。

背景技术

现有混合气体供应设备主要是通过气柜对存储有精准比例混合气体的钢瓶进行减压，即通过气柜进行混合气体供应。请参阅图1，现有的混合气体供应设备主要包括吹扫管路和排气管路，所述排气管路包括第一排气管路和第二排气管路，所述吹扫管路和气柜GHR、气柜GHL连通，所述第一排气管路与气柜GHR连通，第二排气管路与气柜GHL连通，所述气柜GHR与钢瓶GASR连通，所述气柜GHL与钢瓶GASL连通；其中，所述吹扫管路上依次设置有包括气动阀门AV1N、单向阀门CN1N、气动阀门AV2N、压力传感器PT4、气动阀门AV7R、气动阀门AV7L；所述第一排气管路包括第一排气主管和第一排气副管，所述第一排气主管上依次设置有气动阀门AV2R、气动阀门AV3R、手动阀门MV8R，所述第一排气副管上并行设置有气动阀门AV4R和气动阀门AV5R；所述第二排气管路包括第二排气主管和第二排气副管；所述第二排气主管上依次设置有气动阀门AV2L、气动阀门AV3L、手动阀门MV8R，所述第二排气副管上并行设置有气动阀门AV4L和气动阀门AV5L；所述第一排气副管和第二排气副管的尾部依次设置有压力传感器PT3和手动阀门MV9。

所述混合气体供应设备的工作原理如下：

(1)钢瓶GASR相对于气柜GHR进行安装，钢瓶GASL相对于气柜GHL进行安装，并且进行密封性测试；

(2)钢瓶GASR/GASL的阀门打开，使得特殊气体进入气柜GHR/GHL；

(3)吹扫管路的气动阀门AV2R打开，通过外界输入的N₂对气柜GHR/GHL进行吹扫处理；

(4)钢瓶GASR/GASL内部的混合气体压力通过气柜GHR/GHL内部的压力传感器PT1R/PT1L进行观察，符合设定则自动打开气动阀门AV2R/AV2L，通过调压阀PRV1R/PRV1L进行调节输出，通过观察压力传感器PT2R/PT2L确定输出压力大小，满足压力则自动打开气动阀门AV3R/AV3 L，最后打开手动阀门MV8 R/MV8L输出混合气体。

其中，压力传感器PT4可以监测吹扫管路的压力，通过数值对比判断是否有阀门损坏，即正常供应特殊气体时，压力传感器PT4为负压(设定为-10psi)，当气动阀门AV2N、气动阀门AV7R、气动阀门AV7L任意一个漏气时，都会有气体流入吹扫管路，从而导致压力传感器PT4压力升高，然后根据压力传感器PT4压力判断是进口端的气动阀门AV2N还是出口端的气动阀门AV7R、气动阀门AV7L漏气，但是无法准确判断是气动阀门AV7R漏气还是气动阀AV7L漏气。

其中，压力传感器PT3可以监测排气管路的压力，但是由于手动阀门MV9L是手动控制的，因此，排气管路的压力一直为恒压(设定为0psi)，当气动阀门AV4R、气动阀门AV4L、气动阀门AV5R、气动阀门AV5L任意一个漏气时，均无法监测。

综上所述，现有混合气体供应设备无法准确判断是阀门的损坏位置，并且无法对部分阀门做到实时监测，因此，需要人为进行检测，从而准确判断阀门的损坏情况，耗时耗力。

实用新型内容