[实用新型]一种监测系统及检测机台有效
| 申请号： | 202120368720.9 | 申请日： | 2021-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN215678076U | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 孙秉群;朱哲仪;黄君杰 | 申请（专利权）人： | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/25 | 分类号： | G01N21/25;G01N21/94 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 监测 系统 检测 机台 | ||
1.一种监测系统，其特征在于，包括：
信号发生模块，用于发射测试信号至一待测物，所述测试信号经所述待测物的表面反射后形成反射信号；
信号接收模块，用于接收所述反射信号；
信号处理模块，用于根据所述反射信号输出指示信号并判断所述待测物的表面上是否存在异物，所述指示信号为光谱信号；
清洁模块，与所述信号处理模块连接，所述信号处理模块还用于当所述待测物的表面上存在异物时，记录异物位置，并发出第二指令信号；所述清洁模块用于接收所述第二指令信号，并执行所述第二指令信号。
2.如权利要求1所述的监测系统，其特征在于，还包括报警模块，与所述信号处理模块连接；
所述信号处理模块还用于当所述待测物的表面上存在异物时，记录异物位置，并发出第一指令信号；
所述报警模块用于接收所述第一指令信号，并执行所述第一指令信号。
3.如权利要求1所述的监测系统，其特征在于，所述信号发生模块为红外线发射器，所述信号接收模块为红外线接收器。
4.如权利要求3所述的监测系统，其特征在于，所述红外线发射器与所述红外线接收器相对于所述待测物对称设置，使所述红外线发射器发射的红外线信号经所述待测物的表面反射后产生的红外线反射信号能被所述红外线接收器所接收。
5.如权利要求1所述的监测系统，其特征在于，所述信号处理模块为单片机或者PLC控制器。
6.如权利要求1所述的监测系统，其特征在于，所述清洁模块为清洁刮刀。
7.一种检测机台，其特征在于，包括如权利要求1-6任意一项所述的监测系统，所述监测系统用于监测所述检测机台的工作台表面是否存在异物。
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