[实用新型]一种监测系统及检测机台

说明书

本实用新型提供了一种监测系统及检测机台，所述监测系统包括信号发生模块、信号接收模块和信号处理模块，所述信号发生模块用于发射测试信号至一待测物，所述测试信号经所述待测物的表面反射后形成反射信号，所述信号接收模块用于接收反射信号，所述信号处理模块用于根据所述反射信号输出指示信号并判断所述待测物的表面上是否存在异物。本实用新型通过在检测机台内设置监测系统，实现对检测机台的自动化监测，避免人为目检误差，以便设备人员及时发现检测机台内的工作台表面存在异物，并对其进行处理，避免造成晶圆报废，减少生产成本。

技术领域

本实用新型涉及半导体检测技术领域，特别涉及一种监测系统及检测机台。

背景技术

集成电路芯片(integrated circuit chip，IC芯片)的电性测试在半导体制作工艺的各阶段中都是相当重要的。每一个IC芯片在晶圆(wafer)与封装(package) 形态都必须接受测试以确保其电性功能，测试机台的各项指标对测试结果都有很大的影响。

例如，晶圆测试(wafer test)是使测试机与探针卡(probe card)构成测试回路。具体测试时，将晶圆置于探针台内的承片台上，将探针卡直接与晶圆上的接垫(pad)接触，以利用探针卡探测晶圆上的各个芯片，从而引出芯片信号，并将此芯片信号数据送往测试机做分析与判断。这样，可在封装步骤之前，事先滤除电性与功能不良的芯片，以避免不良品的增加而提高封装制造成本。

可见，探针台是监督成品良率的一项关键检测机台，其中，探针台内的承片台的洁净度对检测过程有很大影响。若承片台上有异物，在使用探针卡在晶圆的PAD上执行扎针动作时，异物会导致探针卡与晶圆在测试过程中产生毁损，还会导致晶圆报废。现有技术中探针台内无监测工具，主要依靠目视方式检查承片台上是否存在异物，而目视方式存在人为上的误差，且人员教育训练困难。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种监测系统及检测机台，以解决现有技术中检测机台的工作台表面的清洁度监测不到位，工作台表面存在异物易造成晶圆报废的问题。具体技术方案如下：

第一方面，本实用新型提供一种监测系统，包括：

信号发生模块，用于发射测试信号至一待测物，所述测试信号经所述待测物的表面反射后形成反射信号；

信号接收模块，用于接收所述反射信号；

信号处理模块，用于根据所述反射信号输出指示信号并判断所述待测物的表面上是否存在异物，所述指示信号为光谱信号；

清洁模块，与所述信号处理模块连接，所述信号处理模块还用于当所述待测物的表面上存在异物时，记录异物位置，并发出第二指令信号；所述清洁模块用于接收所述第二指令信号，并执行所述第二指令信号。

可选的，还包括报警模块，与所述信号处理模块连接；

所述信号处理模块还用于当所述待测物的表面上存在异物时，记录异物位置，并发出第一指令信号；

所述报警模块用于，接收所述第一指令信号，并执行所述第一指令信号。

可选的，所述信号发生模块为红外线发射器，所述信号接收模块为红外线接收器。

可选的，所述红外线发射器与所述红外线接收器相对于所述待测物对称设置，使所述红外线发射器发射的红外线信号经所述待测物的表面反射后产生的红外线反射信号能被所述红外线接收器所接收。

可选的，所述信号处理模块为单片机或者PLC控制器。

可选的，所述清洁模块为清洁刮刀。

第二方面，本实用新型提供一种检测机台，包括如第一方面所述的监测系统，所述监测系统用于监测所述检测机台的工作台表面是否存在异物。