[实用新型]一种晶圆片架

权利要求书

1.一种晶圆片架，其特征在于，包括晶圆片架主体(1)，所述晶圆片架主体(1)上均布设有晶圆片槽(2)，每个所述晶圆片槽(2)包括封闭弧形槽(21)和两个直线槽(22)，所述封闭弧形槽(21)两端分别与一个直线槽(22)连通，所述直线槽(22)上设有限位孔；所述晶圆片架主体(1)上还设有锁槽(3)，所述锁槽(3)中设有限位轴(4)，所述限位轴(4)上可活动的设有限位挡板(5)和扇形限位片(6)，所述限位挡板(5)的位置与所述限位孔相匹配，所述扇形限位片(6)上设有滑槽(7)，所述滑槽(7)中可活动的设有滑块，所述滑块固定在推杆(8)上，所述推杆(8)可活动的设在限位环(9)中，所述限位环(9)固定在所述锁槽(3)上，所述扇形限位片(6)的扇形边缘上还设有锁定槽(10)，所述锁定槽(10)的尺寸与限位锁销(11)相匹配，所述限位锁销(11)可活动的设在锁销轴上，所述锁销轴固定在所述锁槽(3)中，所述限位锁销(11)的一侧设有弹簧(12)，所述弹簧(12)的另一端固定在所述锁槽(3)的侧壁上，所述限位锁销(11)的一端伸出所述锁槽(3)；所述推杆(8)的一端伸出所述锁槽(3)，所述推杆(8)和所述限位锁销(11)上还分别设有第一限位条(13)和第二限位条(14)，所述第一限位条(13)和所述第二限位条(14)上均设有锁孔，所述锁孔中设有锁销。

2.根据权利要求1所述的晶圆片架，其特征在于，所述限位轴(4)方向与所述锁销轴的方向平行。

3.根据权利要求1所述的晶圆片架，其特征在于，所述锁槽上均布设有限位槽(15)，所述推杆(8)、所述限位锁销(11)分别可活动的穿过所述限位槽(15)与所述第一限位条(13)和所述第二限位条(14)连接。

4.根据权利要求1所述的晶圆片架，其特征在于，每个所述晶圆片槽(2)的两个直线槽(22)分别对应一个所述限位挡板(5)。

5.根据权利要求1所述的晶圆片架，其特征在于，所述限位挡板(5)和所述扇形限位片(6)连接为一体。

6.根据权利要求1所述的晶圆片架，其特征在于，所述晶圆片槽(2)内壁设有用于保护晶圆片的橡胶垫。

7.根据权利要求1所述的晶圆片架，其特征在于，所述限位挡板(5)上设有用于保护晶圆片的橡胶垫。

8.根据权利要求1所述的晶圆片架，其特征在于，晶圆片架主体(1)的开口端还设有限位卡块和与所述限位卡块相匹配的限位卡槽。