[实用新型]一种晶圆片架

说明书

本实用新型提供一种晶圆片架，包括晶圆片架主体，晶圆片架主体上均布设有晶圆片槽，每个晶圆片槽包括封闭弧形槽和两个直线槽，直线槽上设有限位孔；晶圆片架主体上还设有锁槽，锁槽中设有限位轴，限位轴上设有限位挡板和扇形限位片，限位挡板与限位孔匹配，扇形限位片上设有滑槽，滑槽中设有滑块，滑块设在推杆上，推杆设在限位环中，限位环设在锁槽上，扇形限位片的扇形边上设有锁定槽，锁定槽的尺寸与限位锁销匹配，限位锁销设在锁销轴上，锁销轴设在锁槽中，限位锁销上设有弹簧，弹簧另一端设在锁槽侧壁上，限位锁销和推杆的一端伸出锁槽，推杆和限位锁销上设有第一限位条和第二限位条，第一限位条和第二限位条上设有锁孔，锁孔中设有锁销。

技术领域

本实用新型属于晶圆片储存搬运技术领域，具体涉及一种晶圆片架。

背景技术

晶圆片是一种贵重的电子半成品，在储存和搬运过程中应避免变形，过度振动和受压过大。晶圆片架是一种用于放置晶圆片的容器，其作用主要是保证晶圆片在储存、运输过程中不受损坏。现有的晶圆片架在结构上存在着支撑方式不合理，装卸不方便，结构复杂，辅助零件过多，容易松动，不方便运输等缺陷，如在运输中发生损坏，放置一段时间会发生变形(放置超薄晶圆片更明显)。因此需要提供一种结构简单，固定效果好，不易松动，装卸方便的晶圆片架。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种晶圆片架，装卸操作简单，固定效果良好，不易松动，能够有效防止晶圆片损坏。

本实用新型提供了如下的技术方案：

一种晶圆片架，其特征在于，包括晶圆片架主体，所述晶圆片架主体上均布设有晶圆片槽，每个所述晶圆片槽包括封闭弧形槽和两个直线槽，所述封闭弧形槽两端分别与一个直线槽连通，所述直线槽上设有限位孔；所述晶圆片架主体上还设有锁槽，所述锁槽中设有限位轴，所述限位轴上可活动的设有限位挡板和扇形限位片，所述限位挡板的位置与所述限位孔相匹配，所述扇形限位片上设有滑槽，所述滑槽中可活动的设有滑块，所述滑块固定在推杆上，所述推杆可活动的设在限位环中，所述限位环固定在所述锁槽上，所述扇形限位片的扇形边缘上还设有锁定槽，所述锁定槽的尺寸与限位锁销相匹配，所述限位锁销可活动的设在锁销轴上，所述锁销轴固定在所述锁槽中，所述限位锁销的一侧设有弹簧，所述弹簧的另一端固定在所述锁槽的侧壁上，所述限位锁销的一端伸出所述锁槽；所述推杆的一端伸出所述锁槽，所述推杆和所述限位锁销上还分别设有第一限位条和第二限位条，所述第一限位条和所述第二限位条上均设有锁孔，所述锁孔中设有锁销。

优选的，所述限位轴方向与所述锁销轴的方向平行。

优选的，所述锁槽上均布设有限位槽，所述推杆、所述限位锁销分别可活动的穿过所述限位槽与所述第一限位条和所述第二限位条连接。

优选的，每个所述晶圆片槽的两个直线槽分别对应一个所述限位挡板。

优选的，所述限位挡板和所述扇形限位片连接为一体。

优选的，所述晶圆片槽内壁设有用于保护晶圆片的橡胶垫。

优选的，所述限位挡板上设有用于保护晶圆片的橡胶垫。

优选的，晶圆片架主体的开口端还设有限位卡块和与所述限位卡块相匹配的限位卡槽。