[实用新型]一种硅片分合取放装置

权利要求书

1.一种硅片分合取放装置,其特征在于：包括底座、六轴机器人以及夹爪分合机构，六轴机器人通过底座与设备机架固定，所述夹爪分合机构包括分片传动装置、吸盘调整机构以及吸盘旋转机构，所述吸盘调整机构包括吸盘吸取装置和控制吸盘吸取装置错位移动的调整装置，所述吸盘旋转机构包括吸盘吸片装置和控制吸盘吸片装置转动的旋转装置，六轴机器人控制夹爪分合机构的移动，所述分片传动装置通过吸盘调整机构与吸盘旋转机构控制硅片的移动，所述吸盘吸取装置和吸盘吸片装置控制硅片的吸取分合，所述旋转装置控制硅片翻面。

2.根据权利要求1所述的一种硅片分合取放装置，其特征在于：所述夹爪分合机构还包括用于承载分片传动装置、吸盘调整机构以及吸盘旋转机构的框架组件，所述框架组件包括框架底板、框架侧板以及框架连接板，两组所述框架侧板平行固设于框架底板两侧，所述框架底板固设有贯穿的底板移动槽，吸盘调整机构以及吸盘旋转机构在底板移动槽内移动，所述框架连接板固设于两组框架侧板上端面，所述框架连接板上端面固设有框架连接槽，所述六轴机器人末端设有执行器，执行器安装在框架连接槽内将六轴机器人与夹爪分合机构连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片分合取放装置，其特征在于：所述分片传动装置包括传动电机，框架底板上固设有传动电机固定座，传动电机的输出轴贯穿传动电机固定座，输出轴固设有传动轮，框架底板固设有两组支撑座，两组所述支撑座间设置有从动轴，从动轴上转动设置有传动轮，两组传动轮间动力连接有传动带，框架底板上固设有两组传动滑轨，传动滑轨上滑动设置有传动滑块，吸盘旋转机构的马达安装板以及吸盘调整机构的导轨安装板与传动滑块固设，吸盘调整机构以及吸盘旋转机构通过传动带的传动进行移动，所述支撑座上贯穿设置有滑槽，从动轴通过在滑槽的滑动调整传动带的张力。

4.根据权利要求1所述的一种硅片分合取放装置，其特征在于：所述调整装置包括转接板、安装下板以及调整动力机构，转接板分别与导轨安装板以及安装下板固设，所述调整动力机构包括调整电机，所述安装下板固设有两组固定座，两组固定座上转动贯穿设置有丝杆，所述丝杆和调整电机的输出轴分别固设有同步轮，两组同步轮通过同步带动力连接，位于两组固定座间的丝杆上连接有螺母座，螺母座固设有滑块安装板，滑块安装板与吸盘吸取装置固设连接，所述安装下板固设有导轨，所述导轨上滑动设置调整滑块，调整滑块与滑块安装板固设，所述安装下板两侧设置有用于对调整滑块进行限位的限位片，调整电机控制吸盘吸取装置错位移动，所述旋转装置包括马达、吸盘转接板以及连接安装板，马达分别与马达安装板以及吸盘转接板安装，连接安装板与吸盘吸片装置固设连接，马达带动吸盘吸片装置转动将硅片翻面。

5.根据权利要求1所述的一种硅片分合取放装置，其特征在于：所述吸盘吸取装置包括第一固定组件、第一进气组件和第一吸取组件，所述第一吸取组件由若干第一吸盘构成，所述第一吸盘包括第一固定板、第一吸取板和两组第一吸盘侧板，相邻第一吸盘的第一固定板通过第一固定组件进行固定，所述第一固定板设置有第一进气孔，相邻第一吸盘的第一进气孔相互连通，第一吸取板以及第一吸盘侧板上固设有第一吸取槽，第一进气孔与第一吸取槽间连通有第一气体通道，第一进气组件与第一进气孔连通为第一吸取组件供气，所述第一吸取组件通过第一吸取槽吸取硅片。

6.根据权利要求1所述的一种硅片分合取放装置，其特征在于：所述吸盘吸片装置包括第二固定组件、第二进气组件和第二吸取组件，所述第二吸取组件由若干第二吸盘构成，所述第二吸盘包括第二固定板、第二吸取板和第二吸盘侧板，相邻第二吸盘的第二固定板通过第二固定组件进行固定，所述第二固定板设置有第二进气孔，相邻第二吸盘的第二进气孔相互连通，第二吸取板以及第二吸盘侧板上固设有第二吸取槽，第二进气孔与第二吸取槽间连通有第二气体通道，第二进气组件与第二进气孔连通为第二吸取组件供气，所述第二吸取组件通过第二吸取槽吸取硅片。