[实用新型]一种双光点光路能量检测及自动补偿装置

权利要求书

1.一种双光点光路能量检测及自动补偿装置，其特征在于：包括

激光器(10)，用于发射光束；

第一分光组件(21)，设于所述激光器(10)发出的光束的路径上，用于将所述激光器(10)发出的光束分成第一光束和第二光束；

第二分光组件(22)，设于所述第一分光组件(21)与聚焦组件(30)之间，用于接收所述第一光束和所述第二光束并将所述第一光束和所述第二光束合束为第三光束；

聚焦组件(30)，设于所述第三光束的路径上，用于将所述第三光束聚焦于载物台(40)；

载物台(40)，用于放置加工产品；

检测组件，设于所述第一分光组件(21)与所述第二分光组件(22)之间，用于检测所述第一光束和所述第二光束的能量；

补偿组件(60)，所述补偿组件(60)设于所述激光器(10)和所述第一分光组件(21)之间，所述补偿组件(60)与所述检测组件通信连接。

2.根据权利要求1所述的一种双光点光路能量检测及自动补偿装置，其特征在于：所述检测组件包括若干光束采样镜和与所述光束采样镜相适配的检测探头，所述光束采样镜用于将部分光束反射至所述检测探头；

所述光束采样镜包括第一光束采样镜(51)和第二光束采样镜(52)，所述检测探头包括第一检测探头(53)和第二检测探头(54)。

3.根据权利要求2所述的一种双光点光路能量检测及自动补偿装置，其特征在于：所述第一光束采样镜(51)设于所述第一光束的路径上，所述第二光束采样镜(52)设于所述第二光束的路径上。

4.根据权利要求3所述的一种双光点光路能量检测及自动补偿装置，其特征在于：所述装置还包括第一反射镜组，用于将所述第一光束和所述第二光束反射至第二分光组件(22)，所述第一反射镜组包括第一反射镜(71)和第二反射镜(72)，所述第一反射镜(71)设于所述第一光束的路径上，所述第二反射镜(72)设于所述第二光束的路径上。

5.根据权利要求4所述的一种双光点光路能量检测及自动补偿装置，其特征在于：所述第一光束采样镜(51)设于所述第一反射镜(71)和所述第二分光组件(22)之间，所述第二光束采样镜(52)设于所述第二反射镜(72)和所述第一分光组件(21)之间。

6.根据权利要求1所述的一种双光点光路能量检测及自动补偿装置，其特征在于：所述装置还包括第二反射镜组，所述第二反射镜组设于所述第二分光组件(22)和所述聚焦组件(30)之间。

7.根据权利要求6所述的一种双光点光路能量检测及自动补偿装置，其特征在于：所述第二反射镜组包括第三反射镜(73)和第四反射镜(74)。

8.根据权利要求1所述的一种双光点光路能量检测及自动补偿装置，其特征在于：所述补偿组件(60)包括第一波片和驱动件，所述驱动件用于所述第一波片调整角度。

9.根据权利要求1所述的一种双光点光路能量检测及自动补偿装置，其特征在于：所述装置还包括第二波片(80)，所述第二波片(80)设于所述第二分光组件(22)和所述聚焦组件(30)之间。

10.根据权利要求9所述的一种双光点光路能量检测及自动补偿装置，其特征在于：所述第二波片(80)垂直于所述第二波片(80)的光轴斜45°设置。