[实用新型]一种光罩盒用载台结构

权利要求书

1.一种光罩盒用载台结构，其特征在于，包括本体、吹气装置、真空装置；

所述本体包括容纳腔以放置所述光罩盒，所述容纳腔设置为顶部敞口；

所述容纳腔的侧壁开设有通气孔，所述吹气装置通过所述通气孔与所述容纳腔的腔体联通；

所述容纳腔的与开设所述通气孔的侧壁相对的侧壁开设真空孔，所述真空装置通过所述真空孔与所述容纳腔的腔体联通；

当所述容纳腔未放置所述光罩盒时，所述吹气装置、所述真空装置同时打开以清洁所述容纳腔。

2.如权利要求1所述的载台结构，其特征在于，当所述容纳腔放置所述光罩盒时，所述吹气装置、所述真空装置关闭以停止清洁所述容纳腔。

3.如权利要求1所述的载台结构，其特征在于，所述本体还包括感应装置；

所述感应装置安装于所述容纳腔的腔体内以感知所述光罩盒；

所述容纳腔通过所述感应装置未感知到所述光罩盒时，所述吹气装置、所述真空装置打开以清洁所述容纳腔；

所述容纳腔通过所述感应装置感知到所述光罩盒时，所述吹气装置、所述真空装置关闭以停止清洁所述容纳腔。

4.如权利要求3所述的载台结构，其特征在于，所述感应装置包括底部传感器和盒体传感器；

所述底部传感器安装于所述容纳腔的底面以感知所述光罩盒的底面；

所述盒体传感器安装于所述容纳腔的侧壁以感知所述光罩盒的侧壁。

5.如权利要求4所述的载台结构，其特征在于，所述底部传感器的数量为至少两个。

6.如权利要求5所述的载台结构，其特征在于，所述底部传感器的数量为两个，两个所述底部传感器以中心对称的位置关系安装于所述容纳腔的底面。

7.如权利要求4所述的载台结构，其特征在于，所述盒体传感器的数量为至少两个。

8.如权利要求7所述的载台结构，其特征在于，所述盒体传感器的数量为两个，两个所述盒体传感器以中心对称的位置关系安装于所述容纳腔的侧壁。

9.如权利要求1所述的载台结构，其特征在于，所述吹气装置包括依次连接的气体管道、调节阀和厂务端气体源；

所述气体管道通过所述通气孔与所述容纳腔的腔体联通；

所述厂务端气体源的压强大于标准大气压并通过所述气体管道向所述容纳腔的腔体输出压缩干燥空气；

所述调节阀用于调节所述压缩干燥空气的流量；

所述真空装置包括依次连接的真空管道、调压阀和厂务端真空源；

所述真空管道通过所述真空孔与所述容纳腔的腔体联通；

所述厂务端真空源的压强低于标准大气压并通过所述真空管道向所述容纳腔的腔体内提供负压；

所述调压阀用于调节所述负压的压力。

10.如权利要求1所述的载台结构，其特征在于，所述容纳腔的底面还安装有定位销和销钉；

所述定位销的数量为至少四个，所述定位销用于定位所述光罩盒；

所述销钉的数量为至少三个，所述销钉用于连接所述光罩盒。

11.如权利要求3所述的载台结构，其特征在于，所述本体还包括指示灯，所述指示灯与所述感应装置电连接以显示所述光罩盒装载状态或卸载状态。