[实用新型]半导体加工用卡具

说明书

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体公开了一种半导体加工用卡具，包括：立式支撑板；托架，具有用于固定待加工半导体的卡槽，且托架与支撑板活动连接，以实现托架的长度可调以及托架的旋转。通过设置与支撑板活动连接的托架，使得所述托架的长度可调以及所述托架的旋转，从而实现卡具可适应不同长度以及不同晶向的半导体加工件，此外，通过设置与夹持头活动连接的侧板，使得卡槽的尺寸可以调节，进而适应不同直径的半导体加工件，从而解决更换不同卡具的问题，提高了工作效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体公开了一种半导体加工用卡具。

背景技术

单晶棒的加工技术影响着加工效率和产品质量，目前立式切片机没有特定的卡具，导致不同规格的单晶棒需要不同的卡具，在一批单晶棒加工过程中，需要更换多种不同的卡具，极大的降低了工作效率，缩短了加工器件的寿命。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的上述技术问题。为此，本实用新型提出一种半导体加工用卡具，解决上述至少一个技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型第一方面提供了一种半导体加工用卡具，包括：

立式支撑板；

托架，具有用于固定待加工半导体的卡槽，且所述托架与所述支撑板活动连接，以实现所述托架的长度可调以及所述托架的旋转。

另外，根据本实用新型上述半导体加工用卡具还可以具有如下附加的技术特征：

根据本实用新型的一个实施例，还包括：

紧固件，所述托架上设置有连接件，所述支撑板上开设有与所述连接件适配的连接孔，所述紧固件将所述连接件固定在所述连接孔内。

根据本实用新型的一个实施例，所述托架包括：

夹持组件，具有相对设置的第一侧面以及第二侧面，所述卡槽开设于所述第一侧面；

凸台，所述凸台为正四棱台，且所述凸台的底面固定在所述第二侧面上，所述连接件固定在所述凸台的顶面上，所述支撑板上开设与所述凸台适配的凸台孔，且所述凸台孔与所述连接孔连通。

根据本实用新型的一个实施例，所述卡槽为燕尾形卡槽。

根据本实用新型的一个实施例，所述夹持组件包括：

夹持头，具有第一卡齿；

侧板，具有第二卡齿，所述第一卡齿与所述第二卡齿之间构成所述卡槽，所述侧板与所述夹持头活动连接，以调节所述卡槽的尺寸。

根据本实用新型的一个实施例，所述侧板与所述夹持头通过螺栓连接。

根据本实用新型的一个实施例，所述侧板上开设有螺孔，所述螺孔的直径为6-9mm。

根据本实用新型的一个实施例，所述紧固件为螺母，所述连接件为螺栓，所述连接孔的直径为12-15mm。

根据本实用新型的一个实施例，所述支撑板远离所述托架的一端开设有用于连接机床的固定孔，所述固定孔的直径为6-9mm。

根据本实用新型的一个实施例，所述支撑板为铝质支撑板，所述托架为铝质托架。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

通过设置与支撑板活动连接的托架，使得所述托架的长度可调以及所述托架的旋转，从而实现卡具可适应不同长度以及不同晶向的半导体加工件，此外，通过设置与夹持头活动连接的侧板，使得卡槽的尺寸可以调节，进而适应不同直径的半导体加工件，从而解决更换不同卡具的问题，提高了工作效率。

附图说明