[实用新型]一种晶圆取粒机取粒装置

权利要求书

1.一种晶圆取粒机取粒装置，其特征在于：包括工作台(1)，所述工作台(1)上设有支撑柱(11)，所述支撑柱(11)上设有安装块(2)，所述安装块(2)上转动连接有取粒爪(3)，所述取粒爪(3)上设有取粒组件，安装块(2)上设有电机(21)，所述电机(21)的输出轴连接于取粒爪(3)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆取粒机取粒装置，其特征在于：所述取粒组件包括设于取粒爪(3)上的取粒块(4)，所述取粒块(4)上安装有吸粒管(43)，所述吸粒管(43)连接有负压管(42)，工作台(1)上设有抽风机(15)，负压管(42)连接于抽风机(15)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆取粒机取粒装置，其特征在于：所述吸粒管(43)上设有卡接管(44)，所述卡接管(44)上套设有吸粒帽(45)。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆取粒机取粒装置，其特征在于：所述取粒块(4)与取粒爪(3)滑移连接，取粒爪(3)上设有凸块(34)，所述凸块(34)上设有缓冲杆(35)，所述缓冲杆(35)上套设有缓冲弹簧(36)，所述缓冲弹簧(36)的一端连接于取粒块(4)，另一端连接于凸块(34)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆取粒机取粒装置，其特征在于：所述取粒爪(3)上设有滑条(31)，取粒块(4)开有供滑条(31)卡入的滑槽，所述滑条(31)上设有弹珠螺丝(312)。

6.根据权利要求2所述的一种晶圆取粒机取粒装置，其特征在于：所述取粒爪(3)上设有用于固定负压管(42)的固定环(33)。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆取粒机取粒装置，其特征在于：所述支撑柱(11)上设有滑轨(14)，所述安装块(2)套设于滑轨(14)并与滑轨(14)滑移连接，滑轨(14)的端部设有限位板(131)，支撑柱(11)上设有用于驱动安装块(2)移动的驱动件。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆取粒机取粒装置，其特征在于：所述驱动件为设于支撑柱(11)上的气缸(13)，所述气缸(13)的输出轴连接于安装块(2)。