[实用新型]一种晶圆取粒机取粒装置

说明书

本申请涉及一种晶圆取粒机取粒装置，涉及晶圆制备的领域，其包括工作台，所述工作台上设有支撑柱，所述支撑柱上设有安装块，所述安装块上转动连接有取粒爪，所述取粒爪上设有取粒组件，安装块上设有电机，所述电机的输出轴连接于取粒爪。本申请利用电机驱动取粒爪转动，从而使得取粒爪能够将不良晶圆从载盘移动至收纳盒中，有效提高了工作效率。

技术领域

本申请涉及晶圆制备的领域，尤其是涉及一种晶圆取粒机取粒装置。

背景技术

晶圆在制备过程中，需要将若干晶圆有序的排布在载盘上，对载盘上的若干晶圆进行检测并对其中的不良品进行标记，根据标记将其中的不良品挑出，从而获得符合企业生产要求的合格品。

常规的挑选方式是工作人员使用挑选夹进行操作，根据标记可准确的将不良晶圆从载盘上夹出并放置于收纳盒中，准确度高，少有不良晶圆混入合格晶圆中。

针对上述中的相关技术，发明人认为采用人工取料的方式虽然确保了准确度，但工作人员逐一挑出不良晶圆的方式效率较低，当大批量生产晶圆时，会降低整体的工作效率。

实用新型内容

为了提高取出晶圆的效率，本申请提供一种晶圆取粒机取粒装置。

本申请提供的一种晶圆取粒机取粒装置采用如下的技术方案：

一种晶圆取粒机取粒装置，包括工作台，所述工作台上设有支撑柱，所述支撑柱上设有安装块，所述安装块上转动连接有取粒爪，所述取粒爪上设有取粒组件，安装块上设有电机，所述电机的输出轴连接于取粒爪。

通过采用上述技术方案，利用取粒爪将载盘上经过标记的晶圆取出，利用电机驱动取粒爪转动，从而可将晶圆从载盘上移动至收纳盒中。相对于采用人工取出不良晶圆相比，本技术方案利用电机驱动取粒爪转动，从而使得取粒爪能够将不良晶圆从载盘移动至收纳盒中，有效提高了工作效率。

可选的，所述取粒组件包括设于取粒爪上的取粒块，所述取粒块上安装有吸粒管，所述吸粒管连接有负压管，工作台上设有抽风机，负压管连接于抽风机。

通过采用上述技术方案，利用抽风机使吸粒管内部呈负压状态，从而使得吸粒管可吸住晶圆，进而可移动晶圆。

可选的，所述吸粒管上设有卡接管，所述卡接管上套设有吸粒帽。

通过采用上述技术方案，当挑选不同规格的晶圆时，可更换不同规格的吸粒帽，使得吸粒帽能够更好的吸住晶圆。

可选的，所述取粒块与取粒爪滑移连接，取粒爪上设有凸块，所述凸块上设有缓冲杆，所述缓冲杆上套设有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的一端连接于取粒块，另一端连接于凸块。

通过采用上述技术方案，利用取粒块与取粒爪之间的滑移连接以及缓冲弹簧，使得吸粒帽在抵接于晶圆时能够得到缓冲，降低吸粒帽对晶圆的撞击而损坏晶圆的可能性。

可选的，所述取粒爪上设有滑条，取粒块开有供滑条卡入的滑槽，所述滑条上设有弹珠螺丝。

通过采用上述技术方案，利用弹珠螺丝降低取粒块与取粒爪之间的摩擦力，使得取粒块在取粒爪上能够顺畅的滑移。

可选的，所述取粒爪上设有用于固定负压管的固定环。

通过采用上述技术方案，利用固定环将负压管固定在取粒爪上，降低负压管对取粒爪的移动产生影响。

可选的，所述支撑柱上设有滑轨，所述安装块套设于滑轨并与滑轨滑移连接，滑轨的端部设有限位板，支撑柱上设有用于驱动安装块移动的驱动件。

通过采用上述技术方案，利用驱动件驱动安装块移动，使得取粒爪能够上下移动，从而便于吸粒帽吸住晶圆。

可选的，所述驱动件为设于支撑柱上的气缸，所述气缸的输出轴连接于安装块。