[实用新型]一种隔膜真空泵有效
申请号: | 202120421782.1 | 申请日: | 2021-02-25 |
公开(公告)号: | CN216044253U | 公开(公告)日: | 2022-03-15 |
发明(设计)人: | 张成祥 | 申请(专利权)人: | 北京桑翌实验仪器研究所 |
主分类号: | F04B37/14 | 分类号: | F04B37/14;F04B45/027;F04B39/00;F04B39/12 |
代理公司: | 北京市万慧达律师事务所 11111 | 代理人: | 谢敏楠 |
地址: | 100015 北京市朝阳区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 隔膜 真空泵 | ||
1.一种隔膜真空泵,其特征在于,包括:
主轴,所述主轴用于连接至驱动电机的输出轴;
一个或多个泵头组;
其中,每个所述泵头组包括四个泵头,所述四个泵头在垂直于所述主轴的纵向中心轴线的平面中围绕所述纵向中心轴线均匀间隔开,每个所述泵头距离所述主轴的纵向中心轴线的距离相等;
每个所述泵头内设有泵腔,所述泵腔中设置有隔膜膜片,所述隔膜膜片经由偏心曲柄连接至所述主轴,并且所述主轴的旋转运动驱动所述隔膜膜片往复运动。
2.根据权利要求1所述的隔膜真空泵,其特征在于,每个所述泵头组中的相对设置的两个泵头设置在垂直于所述主轴的纵向中心轴线的平面内,以抵消相对设置的两个泵头运转时的离心力。
3.根据权利要求1所述的隔膜真空泵,其特征在于,所述主轴上设置有多个并列布置的偏心轮。
4.根据权利要求3所述的隔膜真空泵,其特征在于,所述偏心曲柄经由轴承可旋转地安装在所述主轴的偏心轮上,所述主轴的旋转运动经由所述偏心曲柄驱动所述隔膜膜片往复运动。
5.根据权利要求4所述的隔膜真空泵,其特征在于,与相对设置的两个泵头相对应的两个偏心轮彼此相邻地布置。
6.根据权利要求1所述的隔膜真空泵,其特征在于,所述偏心曲柄的末端连接至所述隔膜膜片的中心。
7.根据权利要求1所述的隔膜真空泵,其特征在于,所述多个泵头组的出气管路汇聚地连接到出气均配器,进气管路汇聚地连接到进气均配器。
8.根据权利要求7所述的隔膜真空泵,其特征在于,所述多个泵头组串联和/或并联地连接至彼此。
9.根据权利要求7所述的隔膜真空泵,其特征在于,每个所述泵头组的各个泵头串联和/或并联地连接至彼此。
10.根据权利要求8或9所述的隔膜真空泵,其特征在于:
所述多个泵头组中的一些泵头组的进气口的管路汇聚地连接到所述进气均配器,出气口连接到分流出气口;
所述多个泵头组中的其他泵头组的进气口连接到所述分流出气口,所述分流出气口通过单向阀与所述出气均配器连接,所述其他泵头组的出气管路与所述出气均配器的出口汇聚。
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