[实用新型]一种隔膜真空泵有效

专利信息
申请号: 202120421782.1 申请日: 2021-02-25
公开(公告)号: CN216044253U 公开(公告)日: 2022-03-15
发明(设计)人: 张成祥 申请(专利权)人: 北京桑翌实验仪器研究所
主分类号: F04B37/14 分类号: F04B37/14;F04B45/027;F04B39/00;F04B39/12
代理公司: 北京市万慧达律师事务所 11111 代理人: 谢敏楠
地址: 100015 北京市朝阳区*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 隔膜 真空泵
【说明书】:

本公开描述了一种隔膜真空泵,其包括:主轴,所述主轴用于连接至驱动电机的输出轴;一个或多个泵头组;其中,每个所述泵头组包括在垂直于所述主轴的纵向中心轴线的平面中围绕所述纵向中心轴线均匀间隔开的四个泵头,每个所述泵头距离所述主轴的纵向中心轴线的距离相等;每个所述泵头内设有泵腔,所述泵腔中设置有隔膜膜片,所述隔膜膜片经由偏心曲柄连接至所述主轴,并且所述主轴的旋转运动驱动所述隔膜膜片往复运动。

技术领域

本公开涉及一种隔膜真空泵。

背景技术

隔膜真空泵的基本原理是使用电机通过机械机构驱动隔膜在泵腔内往复运动,利用泵腔进气侧和排气侧的单向阀实现气体在低压下的输送过程,从而达到形成真空的目的。

最简单的隔膜真空泵使用电机带动一个隔膜泵泵头单元。电机主轴通过一个偏心的凸轮旋转带动通过轴承安装在凸轮上的曲柄进行往复运动,曲柄的末端一般安装在一个膜片的中心,膜片的四周通过压紧密封的方式和膜片上方的泵头形成泵腔,进气腔和出气腔分别连接进气口和出气口的管路,进气腔和出气腔和膜片腔之间各有一个方向相反的单向阀,从而在膜片不断将膜片腔的气体压缩与扩大的过程中,实现从进气腔到出气腔之间气体的运输。由于电机的强大扭矩可以使得膜片的运动在真空低压下进行,从而达到形成真空的目的。当隔膜泵需要增大流量,同时也进一步降低真空度的时候,人们开始使用泵头之间的串联来提高真空度,使用泵头之间的并联来增大抽气的速率。在泵头和膜片的大小不变的前提下,增加泵头的数量显然是实现大流量或者获得更高真空度的泵的直接方法。

为此目的,一些隔膜真空泵使用具有两端出轴的电机,在电机的两端同一侧安装两个泵头,也可以在单输出轴的电机的轴的两侧安装两个相对的泵头。

例如,CN105003426A涉及一种隔膜真空泵,其所公开的泵在电机两端都有输出轴,两个泵头均分布在电机轴的一侧。CN203742958U、CN104976105A所公开的泵的结构则是在一个主轴两侧对面安装两个泵头。以上这两种结构必须考虑到运转过程中产生的离心力的问题,因此通常在轴上安装平衡块以保证泵在运转过程中的力矩平衡,从而实现泵的顺利启动,消除抖动的现象。这样的结构相对而言占用更大的空间,增加了泵的整体重量和体积,也增加了泵运行所需要的功率。

实用新型内容

为至少部分地克服现有技术中存在的上述问题,本公开提供了一种隔膜真空泵,其可以减轻泵的振动,并且不需要在主轴上安装平衡块。

根据本公开实施例的一方面,提供了一种隔膜真空泵,其包括:主轴,主轴用于连接至驱动电机的输出轴;一个或多个泵头组;其中,每个泵头组包括在垂直于主轴的纵向中心轴线的平面中围绕纵向中心轴线均匀间隔开的四个泵头,每个泵头距离所述主轴的纵向中心轴线的距离相等;每个泵头内设有泵腔,泵腔中设置有隔膜膜片述隔膜膜片经由偏心曲柄连接至主轴,并且主轴的旋转运动驱动隔膜膜片往复运动。隔膜膜片在泵腔中的往复运动实现了输送气流,形成真空的功能。

在根据本公开的一些实施例中,每个泵头组中的相对设置的两个泵头设置在垂直于所述主轴的纵向中心轴线的平面内,以抵消相对设置的两个泵头运转时的离心力。并且可以防止泵在运行中因为振动造成的可能的位移。

在根据本公开的一些实施例中,主轴上设置有多个并列布置的偏心轮。主轴在驱动电机的驱动下做旋转运动并驱动偏心轮的偏心旋转运动。

在根据本公开的一些实施例中,与相对设置的两个泵头相对应的两个偏心轮彼此相邻地布置。

在根据本公开的一些实施例中,偏心曲柄经由轴承可旋转地安装在主轴的偏心轮上,主轴的旋转运动经由偏心曲柄驱动隔膜膜片往复运动。

在根据本公开的一些实施例中,偏心曲柄的末端连接至隔膜膜片的中心。

在根据本公开的一些实施例中,多个泵头组的出气管路汇聚地连接到出气均配器,进气管路汇聚地连接到进气均配器。

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