[实用新型]一种等离子清洗机

权利要求书

1.一种等离子清洗机，包括机体(1)，其特征在于：机体(1)的内部设有安装室(2)，机体(1)的前部设有用于封闭安装室(2)的前侧板；安装室(2)的左侧固定设有真空舱室(8)，安装室(2)的上部设有气瓶舱(9)，气瓶舱(9)内设有多个用于储存不同种类反应气体的气瓶(10)，气瓶(10)的前部设有气压传感器I(11)、注气口(12)和出气口，注气口(12)处设有可拆卸的密封盖，出气口连接有输气管道II，输气管道II上设有用于控制气体输出的电磁阀II，输气管道II的另一端嵌设在真空舱室(8)的壁体上，且输气管道II的另一端与真空舱室(8)的内部连通；真空舱室(8)的内部设有用于产生等离子的电极(24)，安装室(2)的内部设有与真空舱室(8)配合的抽真空系统和用于使真空舱室(8)内的气压回复到大气压水平的真空阻断系统，真空舱室(8)内设有气压传感器II，安装室(2)的内部还设有用于控制各电器件运行的控制柜(17)；真空舱室(8)和气瓶舱(9)的均为前开口结构，机体(1)的前侧板上设有与真空舱室(8)对应的入口I和与气瓶舱(9)对应的入口II，机体(1)的前侧板上设有用于封闭入口I的舱门(3)和用于封闭入口II的气瓶舱室门(7)，舱门(3)通过舱门锁(5)密封设在机体(1)的前侧板上。

2.如权利要求1所述的一种等离子清洗机，其特征在于：真空舱室(8)的左右侧壁上设有轨道(18)，真空舱室(8)的内部设有可前后移动的置物架；置物架包括分设在左右两侧的立板(19)，立板(19)的外侧设有与轨道(18)配合的轨道轮(21)，两个立板之间设有用于放置被清洗件的置物板(20)。

3.如权利要求2所述的一种等离子清洗机，其特征在于：立板(19)上设有至少两排上下排列的螺纹孔I(1901)，立板(19)上还设有至少一列螺纹孔II(1902)，螺纹孔I(1901)和螺纹孔II(1902)的结构、大小均相同；置物板(20)的侧部设有与螺纹孔I(1901)或螺纹孔II(1902)对应的螺纹孔III，置物板(20)通过螺钉(22)与立板(19)固定连接，螺钉(22)与螺纹孔I(1901)、螺纹孔II(1902)、螺纹孔III螺纹连接。

4.如权利要求3所述的一种等离子清洗机，其特征在于：置物板(20)为水平设置的I型置物板或竖向设置的II型置物板；I型置物板的左右两端设置与螺纹孔I(1901)对应的螺纹孔III；II型置物板的左右两侧设置与螺纹孔II(1902)对应的螺纹孔III，II型置物板上设有若干个用于放置被清洗件的槽口，槽口为前后通透结构。

5.如权利要求1-4任一项所述的一种等离子清洗机，其特征在于：抽真空系统包括设在安装室(2)右侧的真空泵(13)，真空泵(13)通过输气管道I与真空舱室(8)的内部连通，输气管道I上设有电磁阀I(14)和电动控制阀(15)，机体(1)的右侧板上设有与真空泵(13)对应的透气窗(23)，透气窗(23)与机体(1)的右侧板为可拆卸连接结构。

6.如权利要求5所述的一种等离子清洗机，其特征在于：安装室(2)的右侧设有支撑板(16)，支撑板(16)位于真空泵(13)和透气窗(23)上方，支撑板(16)的右端与安装室(2)的右侧内壁固定连接，支撑板(16)的左端与真空舱室(8)的壁体固定连接；控制柜(17)设在支撑板(16)上，控制柜(17)的左右两侧设有防倾倒的L型护板，L型护板通过螺栓与支撑板(16)固定连接。

7.如权利要求1-4任一项所述的一种等离子清洗机，其特征在于：真空阻断系统包括进气管道和设在进气管道上的电磁阀III，进气管道的一端嵌设在真空舱室(8)的壁体上并与真空舱室(8)的内部连通，进气管道的另一端嵌设在机体(1)的壁体上并与外界空气连通。

8.如权利要求7所述的一种等离子清洗机，其特征在于：进气管道的内部设有采用活性炭材料制成的过滤网。

9.如权利要求1或6或8所述的一种等离子清洗机，其特征在于：机体(1)的顶部设有用于提示设备运行情况的运行指示灯(6)。

10.如权利要求1或6或8所述的一种等离子清洗机，其特征在于：机体(1)的底部设有行走轮。