[实用新型]一种等离子清洗机

说明书

本实用新型提供了一种等离子清洗机，解决了等离子清洗机的反应气体预置种类较少，导致适用范围较小的问题。本实用新型包括包括机体，机体的内部设有安装室，安装室的左侧固定设有真空舱室，安装室的上部设有气瓶舱，气瓶舱内设有多个用于储存不同种类反应气体的气瓶，气瓶的前部设有气压传感器I、注气口和出气口，出气口连接有输气管道II，输气管道II上设有用于控制气体输出的电磁阀II，输气管道II的另一端嵌设在真空舱室的壁体上，且输气管道II的另一端与真空舱室的内部连通；真空舱室和气瓶舱的均为前开口结构，机体的前侧板上设有用于封闭真空舱室的舱门和用于封闭气瓶舱的气瓶舱室门。

技术领域

本实用新型涉及等离子清洗设备技术领域，特别是指一种等离子清洗机。

背景技术

目前，等离子清洗工艺主要是利用具有一定能量的活性等离子，对被清洗物进行物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，而达到清洗目的。在等离子清洗过程中的抽气、充气以及离子轰击和化学反应是主要过程

现有等离子清洗机选配的气体主要由清洁的干空气、氮气、氩气、氧气、二氧化碳、四氟化碳、氦气，现有的等离子清洗机在出厂时，多是仅仅选配一种气体，作为等离子清洗最后阶段的破真空的重要反应气体，由于其针对性较强，造成仅能适应于特定领域的工件清洗需求的情形，导致这种等离子清洗机的适用范围较为狭小。

实用新型内容

为了解决背景技术中所存在的等离子清洗机的反应气体预置种类较少，导致适用范围较小的问题，本实用新型提出了一种等离子清洗机。

本实用新型的技术方案是：一种等离子清洗机，包括机体，机体的内部设有安装室，机体的前部设有用于封闭安装室的前侧板；安装室的左侧固定设有真空舱室，安装室的上部设有气瓶舱，气瓶舱内设有多个用于储存不同种类反应气体的气瓶，气瓶的前部设有气压传感器I、注气口和出气口，注气口处设有可拆卸的密封盖，出气口连接有输气管道II，输气管道II上设有用于控制气体输出的电磁阀II，输气管道II的另一端嵌设在真空舱室的壁体上，且输气管道II的另一端与真空舱室的内部连通；真空舱室的内部设有用于产生等离子的电极，安装室的内部设有与真空舱室配合的抽真空系统和用于使真空舱室内的气压回复到大气压水平的真空阻断系统，真空舱室内设有气压传感器II，安装室的内部还设有用于控制各电器件运行的控制柜；真空舱室和气瓶舱的均为前开口结构，机体的前侧板上设有与真空舱室对应的入口I和与气瓶舱对应的入口II，机体的前侧板上设有用于封闭入口I的舱门和用于封闭入口II的气瓶舱室门，舱门通过舱门锁密封设在机体的前侧板上。

优选的，真空舱室的左右侧壁上设有轨道，真空舱室的内部设有可前后移动的置物架；置物架包括分设在左右两侧的立板，立板的外侧设有与轨道配合的轨道轮，两个立板之间设有用于放置被清洗件的置物板。

优选的，立板上设有至少两排上下排列的螺纹孔I，立板上还设有至少一列螺纹孔II，螺纹孔I和螺纹孔II的结构、大小均相同；置物板的侧部设有与螺纹孔I或螺纹孔II对应的螺纹孔III，置物板通过螺钉与立板固定连接，螺钉与螺纹孔I、螺纹孔II、螺纹孔III螺纹连接。

优选的，置物板为水平设置的I型置物板或竖向设置的II型置物板；I型置物板的左右两端设置与螺纹孔I对应的螺纹孔III；II型置物板的左右两侧设置与螺纹孔II对应的螺纹孔III，II型置物板上设有若干个用于放置被清洗件的槽口，槽口为前后通透结构。

优选的，抽真空系统包括设在安装室右侧的真空泵，真空泵通过输气管道I与真空舱室的内部连通，输气管道I上设有电磁阀I和电动控制阀，机体的右侧板上设有与真空泵对应的透气窗，透气窗与机体的右侧板为可拆卸连接结构。

优选的，安装室的右侧设有支撑板，支撑板位于真空泵和透气窗上方，支撑板的右端与安装室的右侧内壁固定连接，支撑板的左端与真空舱室的壁体固定连接；控制柜设在支撑板上，控制柜的左右两侧设有防倾倒的L型护板，L型护板通过螺栓与支撑板固定连接。