[实用新型]一种用于化学气相沉积装置的移动载具有效
| 申请号： | 202120424629.4 | 申请日： | 2021-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN214422750U | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 张亮;王薇;汪小知 | 申请（专利权）人： | 杭州英希捷宜合信息技术发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458 |
| 代理公司： | 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 | 代理人： | 沈相权 |
| 地址： | 浙江省杭州市萧山区萧山经济*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 化学 沉积 装置 移动 | ||
1.一种用于化学气相沉积装置的移动载具，其特征在于：包括石英管（1），所述的石英管（1）内设有与石英管（1）相密封式插嵌的磁铁（4），所述的磁铁（4）前端设有与石英管（1）相套接的石英载片（2），所述的石英管（1）的外壁设有与磁铁（4）上下端相磁性吸合的铁环（3），所述的铁环（3）与石英管（1）相嵌套连接，所述的铁环（3）下端设有电动滑轨（6），所述的电动滑轨（6）与铁环（3）间设有与电动滑轨（6）相活动式插嵌连接的连接滑块（5）。
2.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积装置的移动载具，其特征在于：所述的电动滑轨（6）包括与连接滑块（5）相螺纹式套接的滑动丝杆（9）。
3.根据权利要求2所述的一种用于化学气相沉积装置的移动载具，其特征在于：所述的滑动丝杆（9）两侧均设有与连接滑块（5）相支撑式套接的导向杆（8）。
4.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积装置的移动载具，其特征在于：所述的连接滑块（5）与铁环（3）间设有若干与连接滑块（5）相嵌套连接的压紧组件（7）。
5.根据权利要求4所述的一种用于化学气相沉积装置的移动载具，其特征在于：所述的压紧组件（7）包括弹簧（10），所述的弹簧（10）与铁环（3）间设有与弹簧（10）相卡嵌的钢球（11）。
6.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积装置的移动载具，其特征在于：所述的石英载片（2）呈长为60厘米，宽为5厘米的长方形结构。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
