[实用新型]旋转靶材装配工装有效
| 申请号： | 202120426836.3 | 申请日： | 2021-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN214327864U | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 陈超;刘富 | 申请（专利权）人： | 攀时（上海）高性能材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京市万慧达律师事务所 11111 | 代理人： | 刘锋;邱忠贶 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 旋转 装配 工装 | ||
【权利要求书】：
1.一种旋转靶材装配工装，其特征在于，
包括底座和装配杆，
底座包括台面和定位杆，
台面与定位杆垂直连接，
在台面的底部设有多个脚部支架，
装配杆通过定位杆进行装配，
装配杆包括法兰和导杆，
法兰与台面相接且被设于导杆的底部，
在导杆上设有分布均匀的多个滚珠轴承。
2.根据权利要求1所述的旋转靶材装配工装，其特征在于，
在定位杆的底部设有四个脚部支架。
3.根据权利要求1所述的旋转靶材装配工装，其特征在于，
在装配不同长度及大小的旋转靶材时采用不同长度的导杆。
4.根据权利要求1所述的旋转靶材装配工装，其特征在于，
台面和定位杆由不锈钢制成。
5.根据权利要求1所述的旋转靶材装配工装，其特征在于，
导杆为铝管。
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