[实用新型]旋转靶材装配工装

说明书

本实用新型提供一种旋转靶材装配工装，包括底座和装配杆，底座包括台面和定位杆，台面与定位杆垂直连接，在台面的底部设有多个脚部支架，装配杆通过定位杆进行装配，装配杆包括法兰和导杆，法兰与台面相接且被设于导杆的底部，在导杆上设有分布均匀的多个滚珠轴承。根据本实用新型，有效解决了不能对应多种规格的旋转靶材、损伤靶材的问题，显著提高装配精度和装配稳定性，降低劳动强度。

技术领域

本实用新型涉及一种旋转靶材装配工装。

背景技术

靶材是一种以金属制成的材料。在材料领域，靶材通常应用于半导体芯片、显示器、太阳能电池、电子器件等的制造。在制造过程中，对旋转靶材进行装配是一种常见的操作工序。

目前，通常都是对旋转靶材采用水平组装。但是采用水平组装的话，会存在装配精度低、稳定性差、操作困难、劳动强度大等缺陷。而现有的采用垂直组装的装配工装也存在着难以对应多种规格的旋转靶材、容易损伤靶材的缺陷。

由此可见，能否基于现有技术中的不足，提供一种改进的旋转靶材装配工装，有效解决不能对应多种规格的旋转靶材、损伤靶材的问题，显著提高装配精度和装配稳定性，降低劳动强度，成为本领域技术人员亟待解决的技术难题。

实用新型内容

实用新型所要解决的课题

本实用新型的目的是在于克服现有技术的缺陷，提供一种旋转靶材装配工装。根据本实用新型所提供的使用安全、结构合理的旋转靶材装配工装，显著提高装配精度和装配稳定性，降低劳动强度。

用于解决课题的方法

本实用新型第一方面涉及一种旋转靶材装配工装，

包括底座和装配杆，

底座包括台面和定位杆，

台面与定位杆垂直连接，

在台面的底部设有多个脚部支架，

装配杆通过定位杆进行装配，

装配杆包括法兰和导杆，

法兰与台面相接且被设于导杆的底部，

在导杆上设有分布均匀的多个滚珠轴承。

优选地，在定位杆的底部设有四个脚部支架。

优选地，在装配不同长度及大小的旋转靶材时采用不同长度的导杆。

优选地，台面和定位杆由不锈钢制成。

优选地，导杆为铝管。

实用新型的效果

根据本实用新型第一方面所涉及的旋转靶材装配工装，有效解决了不能对应多种规格的旋转靶材、损伤靶材的问题，显著提高装配精度和装配稳定性，降低劳动强度。

附图说明

图1为本发明的第一实施方式的旋转靶材装配工装的示意图。

图2为图1中的旋转靶材装配工装的底座的示意图。

图3为图1中的旋转靶材装配工装的装配杆的示意图。

具体实施方式

以下，对于本实用新型所涉及的旋转靶材装配工装详细地进行说明。

图1为本发明的第一实施方式的旋转靶材装配工装的示意图。如图1所示，旋转靶材装配工装包括底座1和装配杆2。