[实用新型]化学气相淀积反应器

权利要求书

1.一种化学气相淀积反应器，其特征在于：包括反应平台(1)，所述反应平台(1)上对称设置有真空泵(2)和清洗泵(3)，所述反应平台(1)上还设置有驱动电机(4)，所述驱动电机(4)的输出端设置有转动机构(5)，所述反应平台(1)上活动设置有呈圆周阵列分布的反应器主体(6)，所述驱动电机(4)被装配用于通过所述转动机构(5)驱使所述反应器主体(6)沿所述反应平台(1)的水平面转动；

所述反应器主体(6)的一端设置有进气阀门(13)，所述反应器主体(6)的另一端设置有排气阀门(14)，所述排气阀门(14)的输出端设置有集气阀(15)，所述集气阀(15)的另一端连接有集气罐(10)。

2.根据权利要求1所述的化学气相淀积反应器，其特征在于：所述反应平台(1)顶部的外壁上对称安装有第一电气箱(23)和第二电气箱(24)，所述真空泵(2)固定安装于所述第一电气箱(23)内，且位于所述第一电气箱(23)外部的输出端固定安装有充气软管(11)，所述充气软管(11)的另一端固定安装有充气接头(12)，所述清洗泵(3)固定安装于所述第二电气箱(24)内，且位于所述第二电气箱(24)外部的输入端固定安装有进水管(16)，所述清洗泵(3)位于所述第二电气箱(24)外部的输出端固定安装有出水软管(17)，所述出水软管(17)的另一端固定安装有出水接头(18)。

3.根据权利要求1所述的化学气相淀积反应器，其特征在于：所述转动机构(5)包括主动齿轮(19)和环形齿板(20)，所述环形齿板(20)固定安装于若干所述反应器主体(6)底部的外壁上，所述主动齿轮(19)固定安装于所述驱动电机(4)的输出端，并啮合连接于所述环形齿板(20)。

4.根据权利要求3所述的化学气相淀积反应器，其特征在于：所述转动机构(5)还包括滚珠(21)和环形槽板(22)，所述环形槽板(22)固定安装于若干所述反应器主体(6)底部的外壁上，且轴心线与所述环形齿板(20)的轴心线重合，所述滚珠(21)呈圆周阵列设置于所述反应平台(1)顶部的外壁上，并活动连接于所述环形槽板(22)的凹槽处。

5.根据权利要求1所述的化学气相淀积反应器，其特征在于：所述反应器主体(6)的内壁上设置有呈倾斜结构的衬底支架(7)，所述衬底支架(7)上设置有衬底主体(8)，所述反应器主体(6)的内部设置有呈圆周阵列分布的加热块(9)。