[实用新型]化学气相淀积反应器

说明书

本实用新型公开了一种化学气相淀积反应器，包括反应平台，反应平台上对称设置有真空泵和清洗泵，反应平台上还设置有驱动电机，驱动电机的输出端设置有转动机构，反应平台上活动设置有呈圆周阵列分布的反应器主体，驱动电机被装配用于通过转动机构驱使反应器主体沿反应平台的水平面转动；反应器主体的一端设置有进气阀门，反应器主体的另一端设置有排气阀门，排气阀门的输出端设置有集气阀，集气阀的另一端连接有集气罐。该化学气相淀积反应器，可以在制备过程中，通过真空泵将混合气体输入至反应器主体内部进行反应，同时启动驱动电机驱使反应器主体沿反应平台的水平方向旋转，以便于清洗泵输入清洗液进行清洗。

技术领域

本实用新型涉及化学气相淀积技术领域，具体为一种化学气相淀积反应器。

背景技术

化学气相淀积指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室，在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程，在超大规模集成电路中，很多薄膜都是采用CVD方法制备。

但是现有的化学气相淀积反应器在使用过程中发现，反应过程中产生的薄膜颗粒会附着在反应器的内壁上，影响后续的制备质量，而清洗时会延误大量的制备时间，影响制备的效率，且现有的化学气相淀积反应器缺少废气回收装置，会污染制备场所的环境。

针对上述问题，急需在原有化学气相淀积反应器的基础上进行创新设计。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种化学气相淀积反应器，以解决上述背景技术中提出现有的化学气相淀积反应器清洗时会延误大量的制备时间，影响制备的效率和缺少废气回收装置的问题。

技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种化学气相淀积反应器，包括反应平台，所述反应平台上对称设置有真空泵和清洗泵，所述反应平台上还设置有驱动电机，所述驱动电机的输出端设置有转动机构，所述反应平台上活动设置有呈圆周阵列分布的反应器主体，所述驱动电机被装配用于通过所述转动机构驱使所述反应器主体沿所述反应平台的水平面转动；所述反应器主体的一端设置有进气阀门，所述反应器主体的另一端设置有排气阀门，所述排气阀门的输出端设置有集气阀，所述集气阀的另一端连接有集气罐。

优选的，所述反应平台顶部的外壁上对称安装有第一电气箱和第二电气箱，所述真空泵固定安装于所述第一电气箱内，且位于所述第一电气箱外部的输出端固定安装有充气软管，所述充气软管的另一端固定安装有充气接头，所述清洗泵固定安装于所述第二电气箱内，且位于所述第二电气箱外部的输入端固定安装有进水管，所述清洗泵位于所述第二电气箱外部的输出端固定安装有出水软管，所述出水软管的另一端固定安装有出水接头。

优选的，所述转动机构包括主动齿轮和环形齿板，所述环形齿板固定安装于若干所述反应器主体底部的外壁上，所述主动齿轮固定安装于所述驱动电机的输出端，并啮合连接于所述环形齿板。

优选的，所述转动机构还包括滚珠和环形槽板，所述环形槽板固定安装于若干所述反应器主体底部的外壁上，且轴心线与所述环形齿板的轴心线重合，所述滚珠呈圆周阵列设置于所述反应平台顶部的外壁上，并活动连接于所述环形槽板的凹槽处。

优选的，所述反应器主体的内壁上设置有呈倾斜结构的衬底支架，所述衬底支架上设置有衬底主体，所述反应器主体的内部设置有呈圆周阵列分布的加热块。

有益效果

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.该化学气相淀积反应器，可以在制备过程中，通过真空泵将混合气体输入至反应器主体内部进行反应，同时在反应过程中，启动驱动电机驱使反应器主体沿反应平台的水平方向旋转，以便于将此反应器主体移动至清洗泵一侧，并由清洗泵输入清洗液进行清洗。