[实用新型]视觉检测装置

权利要求书

1.一种视觉检测装置，其特征在于，包括一晶圆载盘、至少一光源模组、以及至少一影像撷取模组，所述晶圆载盘用于承载一晶圆，并具有至少三个开孔，所述开孔贯穿所述晶圆载盘；所述光源模组设置于所述晶圆载盘相对于承载所述晶圆的另一侧，所在位置对应着所述开孔，使所述光源模组能投射光线至所述开孔；所述影像撷取模组位于所述晶圆载盘承载所述晶圆的这一侧，用以撷取所述晶圆边缘的清晰影像。

2.根据权利要求1所述的视觉检测装置，其特征在于，所述开孔位置对应于所述晶圆放置于所述晶圆载盘后的圆周边缘，所述晶圆放置后虽局部覆盖所述开孔但仍维持预定的光透量。

3.根据权利要求1所述的视觉检测装置，其特征在于，复数个所述开孔位置是呈等角度分布于所述晶圆载盘上。

4.根据权利要求1所述的视觉检测装置，其特征在于，所述开孔内设有至少一透镜，当所述光源模组投射光线经所述透镜后，会呈平行光投射所述晶圆边缘。

5.根据权利要求1所述的视觉检测装置，其特征在于，所述光源模组为灯泡或导光体。

6.根据权利要求5所述的视觉检测装置，其特征在于，所述灯泡与所述开孔在正交投影上，所述灯泡的投影面积大于所述开孔的投影面积。

7.根据权利要求5所述的视觉检测装置，其特征在于，所述导光体为平面光源或环型光源。

8.根据权利要求7所述的视觉检测装置，其特征在于，所述平面光源包含一圆形的发光表面，所述发光表面与所述开孔在正交投影上，所述发光表面的投影面积大于所述开孔的投影面积。

9.根据权利要求7所述的视觉检测装置，其特征在于，所述环型光源包含一外环半径及一内环半径，其中所述开孔的直径小于所述外环半径减所述内环半径的差值，且所述环型光源与所述开孔在正交投影上，所述开孔的投影面积包含在所述环型光源的投影面积中。