[实用新型]一种光刻机的温度变频调节装置

权利要求书

1.一种光刻机的温度变频调节装置，包括光刻箱(2)，其特征在于：所述光刻箱(2)的内部设置有光刻腔(8)，所述光刻箱(2)的内部上表面中心位置安装有控制器(4)，所述光刻箱(2)的两侧外壁上下均设置有通孔(17)，所述通孔(17)的内部安装有散热风扇(15)，所述光刻箱(2)的两侧外壁上下边缘处均设置有凹槽(14)，所述凹槽(14)的内部设置有限位块(9)，所述限位块(9)的外壁上设置有卡槽(13)，所述凹槽(14)的内壁上设置有安装槽(11)，所述安装槽(11)的内部设置有弹簧(12)，所述弹簧(12)的一端与圆形卡块(10)相连接，所述光刻箱(2)的两侧内壁下方安装有横板(7)，所述光刻箱(2)的下表面四个拐角处均设置有底座(6)，所述底座(6)的下表面设置有防滑垫(5)。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机的温度变频调节装置，其特征在于：所述弹簧(12)的另一端与安装槽(11)相连接。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机的温度变频调节装置，其特征在于：所述圆形卡块(10)的另一端位于卡槽(13)内。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机的温度变频调节装置，其特征在于：所述限位块(9)的一端设置有防尘板(16)。

5.根据权利要求1所述的一种光刻机的温度变频调节装置，其特征在于：所述横板(7)的上表面中心位置安装有光刻装置(3)。

6.根据权利要求1所述的一种光刻机的温度变频调节装置，其特征在于：所述光刻箱(2)的内部上表面中心位置安装有温度传感器(1)。