[实用新型]一种光刻机的温度变频调节装置

说明书

本实用新型公开了一种光刻机的温度变频调节装置，包括光刻箱，所述光刻箱的内部设置有光刻腔，所述光刻箱的内部上表面中心位置安装有控制器，所述光刻箱的两侧外壁上下均设置有通孔，所述通孔的内部安装有散热风扇，所述光刻箱的两侧外壁上下边缘处均设置有凹槽，所述凹槽的内部设置有限位块，所述限位块的外壁上设置有卡槽，所述凹槽的内壁上设置有安装槽，所述安装槽的内部设置有弹簧，所述弹簧的一端与圆形卡块相连接，所述光刻箱的两侧内壁下方安装有横板。本实用新型可以快速对防尘板进行拆卸更换，提高了工作人员的工作效率，可以有效对光刻腔内部的温度进行调节，实用性强。

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，具体为一种光刻机的温度变频调节装置。

背景技术

光刻机是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。其分为两种，一种是模板与图样大小一致的，曝光时模板紧贴晶圆；另一种是利用类似投影机原理的，获得比模板更小的曝光图样。高端光刻机被称为“现代光学工业之花”，制造难度很大，全世界只有少数几家公司能制造，所以需要一种光刻机的温度变频调节装置。

目前现有的光刻机的温度变频调节装置的缺陷是:

1、现有的光刻机的温度变频调节装置无法较为快速的对防尘板进行更换，长期不更换容易导致灰尘积攒，影响装置运行。

2、现有的光刻机的温度变频调节装置的自动化程度较低，不能根据内部温度的高低进行启动或关闭，实用性较差。

3、现有的光刻机的温度变频调节装置容易被地面上的物质所侵蚀，造成不必要的经济损失，并且装置容易滑动，与地面的摩擦力较低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光刻机的温度变频调节装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光刻机的温度变频调节装置，包括光刻箱，所述光刻箱的内部设置有光刻腔，所述光刻箱的内部上表面中心位置安装有控制器，所述光刻箱的两侧外壁上下均设置有通孔，所述通孔的内部安装有散热风扇，所述光刻箱的两侧外壁上下边缘处均设置有凹槽，所述凹槽的内部设置有限位块，所述限位块的外壁上设置有卡槽，所述凹槽的内壁上设置有安装槽，所述安装槽的内部设置有弹簧，所述弹簧的一端与圆形卡块相连接，所述光刻箱的两侧内壁下方安装有横板，所述光刻箱的下表面四个拐角处均设置有底座，所述底座的下表面设置有防滑垫。

优选的，所述弹簧的另一端与安装槽相连接。

优选的，所述圆形卡块的另一端位于卡槽内。

优选的，所述限位块的一端设置有防尘板。

优选的，所述横板的上表面中心位置安装有光刻装置。

优选的，所述光刻箱的内部上表面中心位置安装有温度传感器。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过光刻箱、防尘板、限位块、圆形卡块、安装槽、圆形卡块、弹簧和卡槽的配合设置，当需要对光刻箱上的防尘板进行拆卸清理更换时，拉住防尘板上的限位块向外拉动，向外拉动使得限位块向外位移，限位块向外位移使得圆形卡块向安装槽的内部位移，圆形卡块向安装槽的内部位移便可以将防尘板拿下，安装时，将限位块对准凹槽塞入，塞入使得圆形卡块向内位移，圆形卡块向内位移使得弹簧受到挤压，当限位块位移至底时，对圆形卡块的挤压力消失，弹簧回弹使得圆形卡块进入到卡槽内，对限位块进行限位固定，可以较为快速对防尘板进行拆装，有效提高了工作人员的工作效率，避免了外界灰尘进入到光刻箱的内部，影响光刻效果。