[实用新型]一种光刻设备涂胶组件

权利要求书

1.一种光刻设备涂胶组件，包括工作框(1)，其特征在于：

所述工作框(1)左右两侧均开有与其相通的圆孔(2)，所述工作框(1)内固定有工作台(3)，所述工作台(3)上表面左右方均固定有立板(7)，所述立板(7)表面均开有左右贯通的孔洞，所述孔洞内均插入有螺杆(8)，所述螺杆(8)内外两端均穿出孔洞，且所述螺杆(8)内端均固定有夹板(10)，所述夹板(10)底部均安装有两块呈左右分布的刮板(11)，所述刮板(11)底部与工作台(3)上表面相接触，所述螺杆(8)外端穿出圆孔(2)；

所述工作台(3)表面开有若干个上下贯通的通孔(4)，若干个所述通孔(4)均位于两块所述立板(7)之间，所述工作框(1)内壁底部放置有塑料盒(6)，所述塑料盒(6)位于工作台(3)内侧下方，且所述塑料盒(6)顶部为开口端，所述工作台(3)底部固定有两块呈左右对称分布的导流板(5)，若干个所述通孔(4)位于两块所述导流板(5)之间，两块所述导流板(5)下端延伸至塑料盒(6)上方。

2.根据权利要求1所述的一种光刻设备涂胶组件，其特征在于：所述螺杆(8)外部均螺纹连接有螺帽(9)，所述螺帽(9)位于立板(7)外侧并与其相接触。

3.根据权利要求1所述的一种光刻设备涂胶组件，其特征在于：所述工作框(1)内壁前后两侧均固定有滑条(12)，且所述工作框(1)内设有位于工作台(3)上方的移动板(13)，所述移动板(13)前后两侧均开有滑槽，两条所述滑条(12)分别与两个所述滑槽滑动连接，且所述移动板(13)底部安装有三个呈均匀分布的涂胶轮(14)。

4.根据权利要求3所述的一种光刻设备涂胶组件，其特征在于：所述移动板(13)上方固定有胶水箱(16)，所述胶水箱(16)底部固定有两根与其相通的出胶管(17)，所述出胶管(17)下端均贯穿过移动板(13)底部，两根所述出胶管(17)与三个所述涂胶轮(14)交错分布。

5.根据权利要求4所述的一种光刻设备涂胶组件，其特征在于：所述出胶管(17)表面均安装有电磁阀(18)，所述工作框(1)顶部左方安装有PLC控制器(15)，所述PLC控制器(15)与两个所述电磁阀(18)电性连接。

6.根据权利要求4所述的一种光刻设备涂胶组件，其特征在于：所述工作框(1)内壁后侧安装有位于胶水箱(16)后方的电动导轨(19)，所述胶水箱(16)后侧固定有滑块，所述滑块与电动导轨(19)滑动连接。

7.根据权利要求1所述的一种光刻设备涂胶组件，其特征在于：所述工作框(1)前面铰接有门板(20)，所述门板(20)表面上方安装有透明窗(21)。